جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران                   ICOP & ICPET _ INPC سال21 صفحات 177-180 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

tahernia A, raoufi D, eftekhari L. Determination of Thickness, Density and Roughness of ITO Thin Film by XRR Technique. ICOP & ICPET _ INPC. 2015; 21 :177-180
URL: http://opsi.ir/article-1-505-fa.html
طاهرنیا عاطفه، رئوفی داوود، افتخاری لیلا. تعیین ضخامت، چگالی و ناهمواری لایه نازک ITO با استفاده از تکنیکXRR. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1393; 21 () :177-180

URL: http://opsi.ir/article-1-505-fa.html


1- دانشگاه بوعلی سینا
چکیده:   (3583 مشاهده)
در این تحقیق، لایه نازک اکسید ایندیوم قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر زیرلایه شیشه تهیه شده است. سپس با استفاده از تکنیک بازتاب سنجی پرتو XRR)X) نمودار لگاریتمی شدت برحسب θ2 (θ زاویه تابش پرتو x) رسم شده است و با استفاده از داده های حاصل از XRR ضخامت ، چگالی و ناهمواری سطح لایه نازک محاسبه شده است نتایج حاصله توافق خوبی با نتایج حاصل از AFM و طیف عبوری UV-VIS_NIRاز خود نشان داده است.
متن کامل [PDF 403 kb]   (2478 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی

ارسال پیام به نویسنده مسئول


کلیه حقوق این وب سایت متعلق به انجمن اپتیک و فوتونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2021 All Rights Reserved | Optics and Photonics Society of Iran

Designed & Developed by : Yektaweb