[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال21 صفحات 177-180 برگشت به فهرست نسخه ها
تعیین ضخامت، چگالی و ناهمواری لایه نازک ITO با استفاده از تکنیکXRR
عاطفه طاهرنیا *1، داوود رئوفی2، لیلا افتخاری1
1- دانشجوی دکتری دانشگاه بوعلی سینا
2- دانشيار دانشگاه بوعلی سینا
چکیده:   (1842 مشاهده)
در این تحقیق، لایه نازک اکسید ایندیوم قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر زیرلایه شیشه تهیه شده است. سپس با استفاده از تکنیک بازتاب سنجی پرتو XRR)X) نمودار لگاریتمی شدت برحسب θ2 (θ زاویه تابش پرتو x) رسم شده است و با استفاده از داده های حاصل از XRR ضخامت ، چگالی و ناهمواری سطح لایه نازک محاسبه شده است نتایج حاصله توافق خوبی با نتایج حاصل از AFM و طیف عبوری UV-VIS_NIRاز خود نشان داده است.
واژه‌های کلیدی: لایه های نازک، بازتاب پرتو XRR)X)، اکسید ایندیوم قلع(ITO)
متن کامل [PDF 403 kb]   (1344 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

کد امنیتی را در کادر بنویسید >



XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

tahernia A, raoufi D, eftekhari L. Determination of Thickness, Density and Roughness of ITO Thin Film by XRR Technique. ICOP & ICPET. 2015; 21 :177-180
URL: http://opsi.ir/article-1-505-fa.html
طاهرنیا عاطفه، رئوفی داوود، افتخاری لیلا. تعیین ضخامت، چگالی و ناهمواری لایه نازک ITO با استفاده از تکنیکXRR. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1393; 21 () :177-180

URL: http://opsi.ir/article-1-505-fa.html

جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.069 seconds with 792 queries by yektaweb 3568