|
تعیین ضخامت، چگالی و ناهمواری لایه نازک ITO با استفاده از تکنیکXRR
|
| عاطفه طاهرنیا* 1، داوود رئوفی2، لیلا افتخاری1 |
1- دانشجوی دکتری دانشگاه بوعلی سینا
2- دانشيار دانشگاه بوعلی سینا |
|
|
چکیده: (2261 مشاهده) |
| در این تحقیق، لایه نازک اکسید ایندیوم قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر زیرلایه شیشه تهیه شده است. سپس با استفاده از تکنیک بازتاب سنجی پرتو XRR)X) نمودار لگاریتمی شدت برحسب θ2 (θ زاویه تابش پرتو x) رسم شده است و با استفاده از داده های حاصل از XRR ضخامت ، چگالی و ناهمواری سطح لایه نازک محاسبه شده است نتایج حاصله توافق خوبی با نتایج حاصل از AFM و طیف عبوری UV-VIS_NIRاز خود نشان داده است. |
|
| واژه‌های کلیدی: لایه های نازک، بازتاب پرتو XRR)X)، اکسید ایندیوم قلع(ITO) |
|
|
متن کامل [PDF 403 kb]
(1574 دریافت)
|
|
نوع مطالعه: پژوهشي |
موضوع مقاله:
تخصصی
|
|
|
|
|
|
|
| ارسال پیام به نویسنده مسئول |
|
|
|
| ارسال نظر درباره این مقاله |
|
|
|
