اشتراک در خبرنامه
لطفاً نشانی پست الکترونیک خود را برای دریافت اطلاعات و اخبار پایگاه در کادر زیر وارد کنید.
آمار سایت
- کل کاربران ثبت شده: 1961 کاربر
- کاربران حاضر در وبگاه: 0 کاربر
- میهمانان در حال بازدید: 335 کاربر
- تمام بازدید‌ها: 21765512 بازدید
- بازدید ۲۴ ساعت گذشته: 14715 بازدید
کنفرانس های انجمن
همایش
اپتیک و فوتونیک،
بهمن 1403
(برگزار شد)
استفاده از مطالب ارائه شده در این پایگاه با ذکر منبع آزاد می باشد.
جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال20 صفحات 1008-1005 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Dorani E, Abbasi S P, Alimoradi A. Experimental and Computer Calculated Sputtering Yield of Sputtered Au by Ne Ions at Different Energies and Various Incidence Angles. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2014; 20 :1005-1008
URL: http://opsi.ir/article-1-402-fa.html
URL: http://opsi.ir/article-1-402-fa.html
Dorani Ehsan، Abbasi S. Peyman، Alimoradi Abolhassan. Experimental and Computer Calculated Sputtering Yield of Sputtered Au by Ne Ions at Different Energies and Various Incidence Angles. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1392; 20 () :1005-1008
1- Islamic Azad University, Kahnouj Branch
2- Iranian National Center for Laser Science and Technology
2- Iranian National Center for Laser Science and Technology
چکیده: (4311 مشاهده)
Nowadays a plenty of applications of thin film in different subjects such as scientific and industrial items has been grown. Au deposition is very important in microelectronic device fabrication. In this research project we studied Au sputtering in different energies and different angles of incident ions. Results show that the measured sputtering yield confirms the results that reached by TRIM.SP software. In specific range, sputtering yield increases by increasing energy and incident angle of bombardment ion particles.
واژه‌های کلیدی: Au sputtering، sputtering yield، molecular dynamics model، incident ion energy، angle of sputtering collision ions
ارسال پیام به نویسنده مسئول
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |
