[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال20 صفحات 1005-1008 برگشت به فهرست نسخه ها
Experimental and Computer Calculated Sputtering Yield of Sputtered Au by Ne Ions at Different Energies and Various Incidence Angles
Mr Ehsan Dorani* 1، Mr S. Peyman Abbasi2، Mr Abolhassan Alimoradi2
1- Islamic Azad University, Kahnouj Branch
2- Iranian National Center for Laser Science and Technology
چکیده:   (2278 مشاهده)
Nowadays a plenty of applications of thin film in different subjects such as scientific and industrial items has been grown. Au deposition is very important in microelectronic device fabrication. In this research project we studied Au sputtering in different energies and different angles of incident ions. Results show that the measured sputtering yield confirms the results that reached by TRIM.SP software. In specific range, sputtering yield increases by increasing energy and incident angle of bombardment ion particles.
واژه‌های کلیدی: Au sputtering، sputtering yield، molecular dynamics model، incident ion energy، angle of sputtering collision ions
متن کامل [PDF 1014 kb]   (927 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Dorani E, Abbasi S P, Alimoradi A. Experimental and Computer Calculated Sputtering Yield of Sputtered Au by Ne Ions at Different Energies and Various Incidence Angles. ICOP & ICPET. 2014; 20 :1005-1008
URL: http://opsi.ir/article-1-402-fa.html

Dorani Ehsan، Abbasi S. Peyman، Alimoradi Abolhassan. Experimental and Computer Calculated Sputtering Yield of Sputtered Au by Ne Ions at Different Energies and Various Incidence Angles. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1392; 20 () :1005-1008

URL: http://opsi.ir/article-1-402-fa.html



جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781