[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال20 صفحات 1545-1548 برگشت به فهرست نسخه ها
سونش تر ویفر گالیم آرسناید در محلول فسفریک اسید، هیدروژن پراکساید و متانول
آقا علی پرنیاباران* 1، آقا سید پیمان عباسی1، آقا بهرنگ صبرلوی1
1- مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
چکیده:   (4171 مشاهده)
سونش شیمیایی تر یکی از پرکاربردترین روشهای سونش در صنعت ساخت ادوات اپتوالکترونیکی مانند لیزر نیمه‌هادی است که توسط محلولهای شیمیایی انجام می‌شود. در این پژوهش ویفر گالیم آرسناید جهت ساخت لیزر نیمه‌هادی توسط محلول سونشی متشکل از اسید فسفریک، پراکساید هیدروژن و متانول به روش غوطه‌وری و در دمای 0 تا 4 درجه سلسیوس مورد سونش قرار گرفت که نتیجه آن پس از بررسی با دستگاه پروفایلر سطح یک سونش غیر همسانگرد با مقطع عرضی U شکل و عمق 4600 آنگستروم بود. همچنین صافی سطح برابر 17/4 آنگستروم را ایجاد نمود که مناسب و قابل قبول بوده است. همچنین کنترل فرآیند سونش بعلت استفاده از متانول در دمای پایین بسیار آسان وکنترل پذیر است.
واژه‌های کلیدی: سونش تر، ویفرگالیم آرسناید، پراکساید هیدروژن، لیزر نیمه‌هادی.
متن کامل [PDF 739 kb]   (1041 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Parnia baran A, Abbasi S P, Sabrlouy B. Wet etching of GaAs wafers by phosphoric acid, hydrogen peroxide and methanol solution. ICOP & ICPET. 2014; 20 :1545-1548
URL: http://opsi.ir/article-1-89-fa.html

پرنیاباران علی، عباسی سید پیمان، صبرلوی بهرنگ. سونش تر ویفر گالیم آرسناید در محلول فسفریک اسید، هیدروژن پراکساید و متانول. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1392; 20 () :1545-1548

URL: http://opsi.ir/article-1-89-fa.html



جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781