[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال20 صفحات 597-600 برگشت به فهرست نسخه ها
اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز
خانم سارا مهاجرانی* 1، آقا مصطفی آخته1، دکتر جعفر مصطفوی امجد1، دکتر داریوش عبداله پور1، دکتر احسان احدی اخلاقی1
1- دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان
چکیده:   (3468 مشاهده)
در این پژوهش روشی برای اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز ارائه شده است. یکی از روشهای تحلیل طرحهای تداخلی، روش جابه جایی فاز است. در این تحقیق از یک LCD به عنوان تلفیق گر فاز برای ایجاد این جابه جایی فاز استفاده شده است. مزیت این روش نسبت به روشهای متداول، عدم استفاده از جابه جاگرهای مکانیکی و سرعت بالای داده برداری است.
واژه‌های کلیدی: تلفیق فاز، جابهجایی فاز، سطحسنجی سه بعدی، میکروسکوپ تداخلی میرائو.
متن کامل [PDF 624 kb]   (677 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Mohajerani S, aakhte M, Mostafavi Amjad J, Abdolahpour D, Ahadi Akhlaghi E. Three Dimensional Surface Topography Measurement by Phase Modulated Mirau Interferometeric Microscope. ICOP & ICPET. 2014; 20 :597-600
URL: http://opsi.ir/article-1-273-fa.html

مهاجرانی سارا، آخته مصطفی، مصطفوی امجد جعفر، عبداله پور داریوش، احدی اخلاقی احسان. اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1392; 20 () :597-600

URL: http://opsi.ir/article-1-273-fa.html



جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781