برقراری ارتباط
سال 27، شماره 1 - ( مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در همایش نانوفوتونیک ایران 1399 )
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال27 صفحات 102-100 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Kalate Seyfari A, Bahadoran M, Honarasa G. Design of micro optical pressure sensor using cascaded ring resonator. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2020; 27 (1) :100-102
URL: http://opsi.ir/article-1-2266-fa.html
URL: http://opsi.ir/article-1-2266-fa.html
کلاته سیفری عباس، بهادران مهدی، هنر آسا غلامرضا. طراحی میکرو حسگر فشار بر پایه دو تشدیدگر حلقوی آبشاری. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1399; 27 (1) :100-102
1- گروه فیزیک، دانشکده علوم دانشگاه صنعتی شیراز، شیراز، ایران
چکیده: (1083 مشاهده)
یک میکرو حسگر سیلیکونی بر پایه تشدیدگر حلقوی دو طبقه برای اندازه‌گیری فشار طراحی شد که بر روی یک دیافراگم مستطیلی شکل از سیلیکون-سیلیکا قرار گرفته است. میزان خمیدگی و جابجایی مکانی دیافراگم در اثر فشار ثابت وارد بر دیافراگم و پاسخ طول موجی حسگر به ترتیب با استفاده از روش المان محدود و روش تاخیر خط سیگنال شبیه‌سازی شدند. حسگر طراحی شده دارای حساسیت pm/kPa 41 است که نسبت به دیگر حسگر های فشار بر پایه نور دارای حساسیت قابل توجهی است.
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |
