|
مشخصه یابی فرآیند laser backwriting با تغییر شاریدگی و تعداد پالس
|
| شبنم عباسی*1، محمدرضا جعفرفرد1، داوود رزاقی2، محسن منتظرالقائم2، هدیه پازکیان2 |
1- دانشگاه علم و صنعت ایران
2- پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای |
|
|
چکیده: (148 مشاهده) |
| در این مقاله به بررسی فرآیند laser backwriting پرداخته شده است. بدین منظور استیل به عنوان نمونهی هدف جهت کندگی و نفوذ یونها داخل زیرلایه کوارتز، توسط لیزر پالسی کیوسوئیچ شدهی Nd:YAG مورد تابش قرار گرفت. میکروکانالهای ایجاد شده طی بر هم کنش مواد کنده شده با زیرلایه کوارتز مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان میدهد عمق کانال به تعداد پالس و شاریدگیهای مختلف لیزر بستگی دارد . همچنین در یک شاریدگی و تعداد پالس آستانه پلاسمونهای سطحی شکل گرفته است. برای مشخص کردن میزان نفوذ یونها داخل کوارتز و جذب از طیفسنجی UV-Visible و برای اندازهگیری عمق کانال از پروفایلومتری سطح استفاده شده است. |
|
| واژه‌های کلیدی: کوارتز، فرآیند laser backwriting، لیزر پالسی Nd:YAG |
|
|
متن کامل [PDF 329 kb]
(23 دریافت)
|
|
نوع مطالعه: پژوهشي |
موضوع مقاله:
تخصصی
|
|
|
|
|
|
