برقراری ارتباط
جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال21 صفحات 1432-1429 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Layeghi A, Jamshidi Seresht M, Khashei H, Latifi H. Design and fabrication a fiber optic pressure sensor based on diaphragm fabry-Perot. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2015; 21 :1429-1432
URL: http://opsi.ir/article-1-739-fa.html
URL: http://opsi.ir/article-1-739-fa.html
لایقی اعظم، جمشیدی محسن، خاشعی حسام الدین، لطیفی حمید. طراحی و ساخت سنسور فشار فیبر نوری مبتنی بر فابری پرو دیافراگمی . مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانسهای انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1393; 21 () :1429-1432
اعظم لایقی1 ، محسن جمشیدی ، حسام الدین خاشعی ، حمید لطیفی* 2
1- دانشگاه شهید بهشتی-پژوهشکده لیزر
2-
2-
چکیده: (4393 مشاهده)
در این مقاله سنسور فشار فیبر نوری بر اساس تداخل سنج فابری پرو ارائه شده است. طراحی و ساخت سنسور بر پایه تکنیک ساختار میکرو الکترو مکانیکی (MEMS) است. آنالیز دیافراگم پلیمری به صورت تحلیلی انجام شده است. سنسور فشار پاسخ تقریبا خطی به فشار اعمالی در محدوده 0 تا 15Kpa در دمای آزمایشگاه نشان می دهد. برای سنسورهایی با ضخامت دیافراگم mm 1/1 و mm 1/3 به ترتیب حساسیت های nm/Kpa 644- و nm/Kpa 417- بدست آمده است که کمترین حد آشکارسازی به ترتیب Pa 3-10×4 و Pa 3-10×6 می باشد. همچنین مدول یانگ و فرکانس تشدید این دیافراگم بر اساس نتایج تجربی محاسبه شده است. ساخت آسان، اندازه کوچک، و پاسخ خطی این سنسور آن را برای بسیاری از کاربردهای صنعتی مناسب می سازد.
ارسال پیام به نویسنده مسئول
بازنشر اطلاعات | |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |