[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال21 صفحات 1429-1432 برگشت به فهرست نسخه ها
طراحی و ساخت سنسور فشار فیبر نوری مبتنی بر فابری پرو دیافراگمی
اعظم لایقی1، محسن جمشیدی، حسام الدین خاشعی، حمید لطیفی* 2
1- دانشگاه شهید بهشتی-پژوهشکده لیزر
2-
چکیده:   (1874 مشاهده)
در این مقاله سنسور فشار فیبر نوری بر اساس تداخل سنج فابری پرو ارائه شده است. طراحی و ساخت سنسور بر پایه تکنیک ساختار میکرو الکترو مکانیکی (MEMS) است. آنالیز دیافراگم پلیمری به صورت تحلیلی انجام شده است. سنسور فشار پاسخ تقریبا خطی به فشار اعمالی در محدوده 0 تا 15Kpa در دمای آزمایشگاه نشان می دهد. برای سنسورهایی با ضخامت دیافراگم mm 1/1 و mm 1/3 به ترتیب حساسیت های nm/Kpa 644- و nm/Kpa 417- بدست آمده است که کمترین حد آشکارسازی به ترتیب Pa 3-10×4 و Pa 3-10×6 می باشد. همچنین مدول یانگ و فرکانس تشدید این دیافراگم بر اساس نتایج تجربی محاسبه شده است. ساخت آسان، اندازه کوچک، و پاسخ خطی این سنسور آن را برای بسیاری از کاربردهای صنعتی مناسب می سازد.
واژه‌های کلیدی: دیافراگم، حسگر فشار، فیبر نوری، فابری پرو.
متن کامل [PDF 679 kb]   (2113 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Layeghi A, Jamshidi Seresht M, Khashei H, Latifi H. Design and fabrication a fiber optic pressure sensor based on diaphragm fabry-Perot. ICOP & ICPET. 2015; 21 :1429-1432
URL: http://opsi.ir/article-1-739-fa.html

لایقی اعظم، جمشیدی محسن، خاشعی حسام الدین، لطیفی حمید. طراحی و ساخت سنسور فشار فیبر نوری مبتنی بر فابری پرو دیافراگمی . کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1393; 21 () :1429-1432

URL: http://opsi.ir/article-1-739-fa.html



جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781