|
بررسی تاثیر شرایط انباشت بر خواص نوری لایه نازک یتریا (Y2O3)
|
| آقای محمدمهدی حمزه نژاد*1، آقای مرتضی حاجی محمودزاده، آقای حمیدرضا فلاح، آقای حسین زابلیان |
|
|
|
چکیده: (2212 مشاهده) |
| در این مقاله، تاثیر شرایط انباشت از جمله دمای بستره، آهنگ انباشت و فشارجزئی اکسیژن در طول انباشت، بر خواص نوری لایه نازک یتریا بررسی شده است. لایه نشانی به روش تبخیر واکنشی با پرتوی الکترون و در خلاء اولیه از مرتبه 6-10میلی بار انجام گرفته است و اندازگیری بیشینه بازتاب، به وسیله طیفسنجی در گستره 400-800 نانومتر انجام شده است. نتایج نشان داد که فشار جزئی اکسیژن بیشترین تأثیر را در بین شرایط انباشت دارد. بنابراین، توانستیم با استفاده از این شرط، ساختارهای لایه نازک با خواص نوری متفاوت و از یک ماده یکسان ایجاد کنیم. |
|
| واژه‌های کلیدی: چگالی درهم پکیدگی، لایه نازک، متخلخل، یتریوم دی اکسید |
|
|
متن کامل [PDF 334 kb]
(788 دریافت)
|
|
نوع مطالعه: پژوهشي |
موضوع مقاله:
تخصصی
|
|
|
|
|
|
|
| ارسال پیام به نویسنده مسئول |
|
|
|
| ارسال نظر درباره این مقاله |
|
|
|
