[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال21 صفحات 413-416 برگشت به فهرست نسخه ها
بررسی تاثیر شرایط انباشت بر خواص نوری لایه نازک یتریا (Y2O3)
آقای محمدمهدی حمزه نژاد* 1، آقای مرتضی حاجی محمودزاده، آقای حمیدرضا فلاح، آقای حسین زابلیان
چکیده:   (1933 مشاهده)
در این مقاله، تاثیر شرایط انباشت از جمله دمای بستره، آهنگ انباشت و فشارجزئی اکسیژن در طول انباشت، بر خواص نوری لایه نازک یتریا بررسی شده است. لایه نشانی به روش تبخیر واکنشی با پرتوی الکترون و در خلاء اولیه از مرتبه 6-10میلی بار انجام گرفته است و اندازگیری بیشینه­ بازتاب، به وسیله طیف­سنجی در گستره 400-800 نانومتر انجام شده است. نتایج نشان داد که فشار جزئی اکسیژن بیشترین تأثیر را در بین شرایط انباشت دارد. بنابراین، توانستیم با استفاده از این شرط، ساختارهای لایه نازک با خواص نوری متفاوت و از یک ماده یکسان ایجاد کنیم.
واژه‌های کلیدی: چگالی درهم پکیدگی، لایه نازک، متخلخل، یتریوم دی اکسید
متن کامل [PDF 334 kb]   (713 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

hamzenejad M M, Haji Mahmoodzadeh M, fallah H R, zabolian H. The Effect of evaporation conditions on the optical properties of yttria (Y2O3) thin film. ICOP & ICPET. 2015; 21 :413-416
URL: http://opsi.ir/article-1-595-fa.html

حمزه نژاد محمدمهدی، حاجی محمودزاده مرتضی، فلاح حمیدرضا، زابلیان حسین. بررسی تاثیر شرایط انباشت بر خواص نوری لایه نازک یتریا (Y2O3). کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1393; 21 () :413-416

URL: http://opsi.ir/article-1-595-fa.html



جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781