[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال21 صفحات 989-992 برگشت به فهرست نسخه ها
تعیین کیفیت جاروب لیزری برای ساخت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون
آقای امیر حسین شهبازی* 1، آقای خسرو معدنی پور2، آقای عطا الله کوهیان1
1- دانشگاه تهران
2- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
چکیده:   (1797 مشاهده)
یکی از روش‌های لیتوگرافی، جاروب لیزری است. این روش همچنین در ساخت ماسک اپتیکی کاربرد دارد. در مقاله پیش‌رو روشی برای تعیین کیفیت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون ارائه می‌گردد. برای ساخت ماسک از لایه نازک اکسید مس که جذب بالایی در طیف مرئی و فرابنفش دارد، به همراه جاروب لیزر پرتوان 532nm استفاده شد. همچنین تصویر ماسک به کمک میکروسکوپ ذخیره و بعد از تصحیح آن و تبدیل فوریه ، تابع انتقال مدولاسیون تشکیل و معیاری از کیفیت بدست می‌آید.
واژه‌های کلیدی: تابع انتقال مدولاسیون، جاروب لیزری، لایه نازک مس و ماسک اپتیکی
متن کامل [PDF 545 kb]   (945 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Shahbazi A H, Madani Pour K, Koohian A. Quality Determination of Laser Scanning in Optical Mask Construction by Modulation Transfer Function. ICOP & ICPET. 2015; 21 :989-992
URL: http://opsi.ir/article-1-865-fa.html

شهبازی امیر حسین، معدنی پور خسرو، کوهیان عطا الله. تعیین کیفیت جاروب لیزری برای ساخت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1393; 21 () :989-992

URL: http://opsi.ir/article-1-865-fa.html



جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.06 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781