[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال21 صفحات 1321-1324 برگشت به فهرست نسخه ها
طیف سنجی تابشی از پلاسمای آرگون – نیتروژن در کندوپاش مغناطیسی DC
آقای سعید گلشن خواص* 1، آقای سعید قاسمی2، عطاالله کوهیان1، حمید رضا قمی2
1- دانشگاه تهران
2- دانشگاه شهید بهشتی
چکیده:   (2252 مشاهده)
در این کار اثر میزان نیتروژن موجود در محفظه و همچنین اثر گذشت زمان بر روی ویژگی های پلاسما وگونه های موجود در محفظه ی کندوپاش به وسیله طیف سنجی تابش اپتیکی تخلیه ی نورانی, مورد ارزیابی قرار گرفت. نتایج نشان می دهد که ولتاژ پلاسما با افزایش زمان لایه نشانی کاهش می یابد. بررسی های حاصل از طیف سنجی در درصدهای مختلف نیتروژن موجود در محفظه لایه نشانی نشان دادند که با افزایش درصد نیتروژن، یونیزاسیون نسبی آرگون و تفکیک نسبی نیتروژن افزایش می یابد، درهمین حال یونیزاسیون نسبی نیتروژن اتمی و ملکولی کاهش می یابد. با افزایش زمان لایه نشانی یونیزاسیون نسبی آرگون، نسبت نیتروژن ملکولی به آرگون و تفکیک نسبی نیتروژن کاهش یافته ولی یونیزاسیون نسبی نیتروژن اتمی و ملکولی افزایش می یابد.
واژه‌های کلیدی: تانتالوم نیتراید، طیف سنجی تابش، کندوپاش مغناطیسی، ولتاژ شکست
متن کامل [PDF 389 kb]   (493 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Golshan Khavas S, Ghasemi S, Koohian A, Ghomi H R. Optical Emission Spectroscopy of Ar-N2 plasma in DC magnetron sputtering. ICOP & ICPET. 2015; 21 :1321-1324
URL: http://opsi.ir/article-1-667-fa.html

گلشن خواص سعید، قاسمی سعید، کوهیان عطاالله، قمی حمید رضا. طیف سنجی تابشی از پلاسمای آرگون – نیتروژن در کندوپاش مغناطیسی DC . کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1393; 21 () :1321-1324

URL: http://opsi.ir/article-1-667-fa.html



جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781