برقراری ارتباط
جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال21 صفحات 1324-1321 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Golshan Khavas S, Ghasemi S, Koohian A, Ghomi H R. Optical Emission Spectroscopy of Ar-N2 plasma in DC magnetron sputtering. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2015; 21 :1321-1324
URL: http://opsi.ir/article-1-667-fa.html
URL: http://opsi.ir/article-1-667-fa.html
گلشن خواص سعید، قاسمی سعید، کوهیان عطاالله، قمی حمید رضا. طیف سنجی تابشی از پلاسمای آرگون – نیتروژن در کندوپاش مغناطیسی DC . مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1393; 21 () :1321-1324
سعید گلشن خواص* 
1، سعید قاسمی2 ، عطاالله کوهیان1 ، حمید رضا قمی2
1، سعید قاسمی2 ، عطاالله کوهیان1 ، حمید رضا قمی2
1- دانشگاه تهران
2- دانشگاه شهید بهشتی
2- دانشگاه شهید بهشتی
چکیده: (4152 مشاهده)
در این کار اثر میزان نیتروژن موجود در محفظه و همچنین اثر گذشت زمان بر روی ویژگی های پلاسما وگونه های موجود در محفظه ی کندوپاش به وسیله طیف سنجی تابش اپتیکی تخلیه ی نورانی, مورد ارزیابی قرار گرفت. نتایج نشان می دهد که ولتاژ پلاسما با افزایش زمان لایه نشانی کاهش می یابد. بررسی های حاصل از طیف سنجی در درصدهای مختلف نیتروژن موجود در محفظه لایه نشانی نشان دادند که با افزایش درصد نیتروژن، یونیزاسیون نسبی آرگون و تفکیک نسبی نیتروژن افزایش می یابد، درهمین حال یونیزاسیون نسبی نیتروژن اتمی و ملکولی کاهش می یابد. با افزایش زمان لایه نشانی یونیزاسیون نسبی آرگون، نسبت نیتروژن ملکولی به آرگون و تفکیک نسبی نیتروژن کاهش یافته ولی یونیزاسیون نسبی نیتروژن اتمی و ملکولی افزایش می یابد.
ارسال پیام به نویسنده مسئول
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |
