جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران                   ICOP & ICPET سال21 صفحات 1073-1076 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Ashrafganjoie M, Hassani K. Thin Film Profile Measurement Using Interferometry. ICOP & ICPET. 2015; 21 :1073-1076
URL: http://opsi.ir/article-1-528-fa.html
اشرف گنجویی مهدی، حسنی خسرو. اندازه گیری نمایه لایه نازک با استفاده از تداخل سنجی . کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1393; 21 () :1073-1076

URL: http://opsi.ir/article-1-528-fa.html


1- دانشگاه تهران
چکیده:   (2893 مشاهده)
یکی از روش های متداول برای اندازه گیری ضخامت لایه های نازک استفاده از تداخل سنجی نوری است که به دلیل غیر مخرب بودن و عدم نیاز به کالیبراسیون بسیار مورد توجه می باشد. دقت اندازه گیری ضخامت لایه با این روش در بهترین حالت در حدود nm30- 20 بوده و تنها ضخامت میانگین لایه بدست می آید. در این مقاله ما با کمک یک میکروسکوپ تداخلی و با برازش طرح تداخلی از دو طرف پله به یک مدل نظری مناسب توانسته ایم دقت اندازه گیری را به کمتر از nm10 برسانیم و علاوه بر آن نمایه تغییرات ضخامت لایه ها را نیز بدست آوریم
متن کامل [PDF 602 kb]   (4065 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی

ارسال پیام به نویسنده مسئول


کلیه حقوق این وب سایت متعلق به انجمن اپتیک و فوتونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2020 All Rights Reserved | Optics and Photonics Society of Iran

Designed & Developed by : Yektaweb