[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال21 صفحات 1073-1076 برگشت به فهرست نسخه ها
اندازه گیری نمایه لایه نازک با استفاده از تداخل سنجی
آقای مهدی اشرف گنجویی* 1، آقای خسرو حسنی1
1- دانشگاه تهران
چکیده:   (1915 مشاهده)
یکی از روش های متداول برای اندازه گیری ضخامت لایه های نازک استفاده از تداخل سنجی نوری است که به دلیل غیر مخرب بودن و عدم نیاز به کالیبراسیون بسیار مورد توجه می باشد. دقت اندازه گیری ضخامت لایه با این روش در بهترین حالت در حدود nm30- 20 بوده و تنها ضخامت میانگین لایه بدست می آید. در این مقاله ما با کمک یک میکروسکوپ تداخلی و با برازش طرح تداخلی از دو طرف پله به یک مدل نظری مناسب توانسته ایم دقت اندازه گیری را به کمتر از nm10 برسانیم و علاوه بر آن نمایه تغییرات ضخامت لایه ها را نیز بدست آوریم
واژه‌های کلیدی: تداخل سنجی، لایه نازک، اندازه گیری ضخامت، میکروسکوپ تداخلی
متن کامل [PDF 602 kb]   (2959 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Ashrafganjoie M, Hassani K. Thin Film Profile Measurement Using Interferometry. ICOP & ICPET. 2015; 21 :1073-1076
URL: http://opsi.ir/article-1-528-fa.html

اشرف گنجویی مهدی، حسنی خسرو. اندازه گیری نمایه لایه نازک با استفاده از تداخل سنجی . کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1393; 21 () :1073-1076

URL: http://opsi.ir/article-1-528-fa.html



جلد 21 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781