[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال20 صفحات 1053-1056 برگشت به فهرست نسخه ها
بررسی ساختاری و بهینه سازی تنش پسماند نانولایه کروم بر روی زیرلایه های شیشه و گالیم آرسناید
خانم مهدیه پرویزیان* 1، خانم فریبا رحیمی اشتری1، آقای امیر گودرزی1، آقای بهرنگ صبرلوی1، آقای پیمان عباسی1
1- مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران
چکیده:   (3147 مشاهده)
در این مقاله زبری سطح، آهنگ انباشت و تنش پسماند لایه نازک کروم بر زیرلایه‌های شیشه و گالیم آرسناید به کمک آنالیزهای AFM، ضخامت‌سنجی و روش انحنای زیرلایه مورد بررسی قرار گرفته است. بدین منظور لایه کروم با ضخامت‌های 120-40 نانومتر به روش کندوپاش رادیو فرکانسی بر زیرلایه‌های مذکور لایه‌نشانی شد. نتایج نشان می‌دهد آهنگ انباشت و زبری سطح لایه کروم روی شیشه بیشتر از گالیم‌ آرسناید است و در هر دو زیرلایه با افزایش ضخامت، زبری سطح افزایش می‌یابد. همچنین ضخامت بهینه تنش پسماند برای زیرلایه گالیم‌ آرسناید 58 نانومتر و برای شیشه 62 نانومتر بدست آمد.
واژه‌های کلیدی: آهنگ انباشت، تنش پسماند، زبری سطح، کروم.
متن کامل [PDF 409 kb]   (676 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

parvizian M, rahimi ashtari F, goodarzi A, sabrlouie B, abbasi P. Structure investigation and residual stress optimization of Cr nanolayer on glass and GaAs substrates . ICOP & ICPET. 2014; 20 :1053-1056
URL: http://opsi.ir/article-1-422-fa.html

پرویزیان مهدیه، رحیمی اشتری فریبا، گودرزی امیر، صبرلوی بهرنگ، عباسی پیمان. بررسی ساختاری و بهینه سازی تنش پسماند نانولایه کروم بر روی زیرلایه های شیشه و گالیم آرسناید . کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1392; 20 () :1053-1056

URL: http://opsi.ir/article-1-422-fa.html



جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781