[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال20 صفحات 1349-1352 برگشت به فهرست نسخه ها
ساخت میکروآیینه انعطاف‌پذیر پلیمری با تحریک الکتروستاتیک
خانم مهرناز اسفندیاری* 1، دکتر رضا اسدی، دکتر پیام حیدری، آقای علیرضا شمسی
چکیده:   (2983 مشاهده)
دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف‌پذیر پلیمری مبتنی ‌بر عملگرالکترواستاتیک ارائه شده‌است. استفاده از عملگرالکترواستاتیک در ساخت میکروآیینه‌ها بدلیل دقت بالا و سادگی در ساخت،گزینه‌ی مطلوبی می‌باشد.اما نیاز به ولتاژ تحریک بالا استفاده ازاین نوع عملگر را محدود می‌کند. برای رفع این مشکل، یکی از راهکارها استفاده از مواد پلیمری با مدول الاستیک بسیار پایین بجای سیلیکون است. اما آیینه ساخته شده با استفاده از پلیمر، صافی سطح کمتری در مقایسه با سیلیکون دارد. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری برای ساخت میکرواینه استفاده شده که علاوه بر تمام مزایای آینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونه های سیلیکونی برابری می کند.
واژه‌های کلیدی: اپتیک تطبیقی، پلیمر SU-8، عملگر الکتروستاتیکی، میکرو آیینه.
متن کامل [PDF 403 kb]   (727 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

esfandiari M, Asadi R, heydari P, shamsi A. Fabrication of deformable polymer micro-mirror with electrostatic actuation. ICOP & ICPET. 2014; 20 :1349-1352
URL: http://opsi.ir/article-1-224-fa.html

اسفندیاری مهرناز، اسدی رضا، حیدری پیام، شمسی علیرضا. ساخت میکروآیینه انعطاف‌پذیر پلیمری با تحریک الکتروستاتیک . کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1392; 20 () :1349-1352

URL: http://opsi.ir/article-1-224-fa.html



جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3772