جلد 26 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و ششمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران                   ICOP & ICPET _ INPC سال26 صفحات 729-732 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Parsanasab G M, Taghavi M, Mostajeran S. spin-coated deposition of Chalcogenide for Lithography. ICOP & ICPET _ INPC. 2020; 26 :729-732
URL: http://opsi.ir/article-1-2168-fa.html
پارسانسب غلام محمد، تقوی مجید، مستاجران سمانه. لایه‌نشانی چرخشی مواد چلکوژناید برای لیتوگرافی. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1398; 26 () :729-732

URL: http://opsi.ir/article-1-2168-fa.html


1- دانشگاه شهید بهشتی
چکیده:   (327 مشاهده)
در این پژوهش ابتدا به بررسی امکان ساخت محلول از انواع پودرهای چلکوژناید پرداخته و به این نتیجه رسیدیم که تنها از چلکوژنایدهای آمورف می­توان محلول مناسب برای لایه­نشانی چرخشی را تهیه کرد. بعد از آن طی تکرار آزمایش­ها متوجه شدیم که وقتی به منظور خارج کردن حلال از فیلم­های لایه­نشانی شده آن­ها را گرمادهی می­کنیم، این کار حتما باید تحت خلأ انجام شود. سپس با نوشتن مستقیم لیزری توسط لیزر سبز پیوسته با سرعت 100um/s در توان 3mw روی فیلم­ها و اچ کردن شیمیائی آن­ها به موجبرهای اپتیکی با ابعاد 2um دست پیدا کردیم.
متن کامل [PDF 474 kb]   (41 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به انجمن اپتیک و فوتونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2020 All Rights Reserved | Optics and Photonics Society of Iran

Designed & Developed by : Yektaweb