[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 26 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و ششمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال26 صفحات 729-732 برگشت به فهرست نسخه ها
لایه‌نشانی چرخشی مواد چلکوژناید برای لیتوگرافی
غلام محمد پارسانسب*1، مجید تقوی1، سمانه مستاجران1
1- دانشگاه شهید بهشتی
چکیده:   (21 مشاهده)
در این پژوهش ابتدا به بررسی امکان ساخت محلول از انواع پودرهای چلکوژناید پرداخته و به این نتیجه رسیدیم که تنها از چلکوژنایدهای آمورف می­توان محلول مناسب برای لایه­نشانی چرخشی را تهیه کرد. بعد از آن طی تکرار آزمایش­ها متوجه شدیم که وقتی به منظور خارج کردن حلال از فیلم­های لایه­نشانی شده آن­ها را گرمادهی می­کنیم، این کار حتما باید تحت خلأ انجام شود. سپس با نوشتن مستقیم لیزری توسط لیزر سبز پیوسته با سرعت 100um/s در توان 3mw روی فیلم­ها و اچ کردن شیمیائی آن­ها به موجبرهای اپتیکی با ابعاد 2um دست پیدا کردیم.
واژه‌های کلیدی: روش مواد محلول، فوتورزیست چلکوژناید، لایه‌نشانی چرخشی، موجبر اپتیکی
متن کامل [PDF 474 kb]   (3 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Parsanasab G M, Taghavi M, Mostajeran S. spin-coated deposition of Chalcogenide for Lithography. ICOP & ICPET. 2020; 26 :729-732
URL: http://opsi.ir/article-1-2168-fa.html

پارسانسب غلام محمد، تقوی مجید، مستاجران سمانه. لایه‌نشانی چرخشی مواد چلکوژناید برای لیتوگرافی. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1399; 26 () :729-732

URL: http://opsi.ir/article-1-2168-fa.html



جلد 26 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و ششمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 31 queries by YEKTAWEB 4109