برقراری ارتباط
جلد 26 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و ششمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال26 صفحات 732-729 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Parsanasab G M, Taghavi M, Mostajeran S. spin-coated deposition of Chalcogenide for Lithography. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2020; 26 :729-732
URL: http://opsi.ir/article-1-2168-fa.html
URL: http://opsi.ir/article-1-2168-fa.html
پارسانسب غلام محمد، تقوی مجید، مستاجران سمانه. لایهنشانی چرخشی مواد چلکوژناید برای لیتوگرافی. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانسهای انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1398; 26 () :729-732
1- دانشگاه شهید بهشتی
چکیده: (1338 مشاهده)
در این پژوهش ابتدا به بررسی امکان ساخت محلول از انواع پودرهای چلکوژناید پرداخته و به این نتیجه رسیدیم که تنها از چلکوژنایدهای آمورف میتوان محلول مناسب برای لایهنشانی چرخشی را تهیه کرد. بعد از آن طی تکرار آزمایشها متوجه شدیم که وقتی به منظور خارج کردن حلال از فیلمهای لایهنشانی شده آنها را گرمادهی میکنیم، این کار حتما باید تحت خلأ انجام شود. سپس با نوشتن مستقیم لیزری توسط لیزر سبز پیوسته با سرعت 100um/s در توان 3mw روی فیلمها و اچ کردن شیمیائی آنها به موجبرهای اپتیکی با ابعاد 2um دست پیدا کردیم.
بازنشر اطلاعات | |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |