[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال20 صفحات 413-416 برگشت به فهرست نسخه ها
بررسی تأثیر مقدار نیتروژن بر خواص فیزیکی لایه‌های نازک نیتریدمس تهیه شده به روش کندوپاش مگنترونی DC
آقای عبدالرحمن درویش پور* 1، آقای علی قهرمانی1
1- دانشگاه صنعتی سهند
چکیده:   (3851 مشاهده)
در این کار تجربی فیلم های نازک نیترید مس به روش کندوپاش مگنترونی DC برروی زیرلایه های شیشه ای در یک مخلوطی از گاز نیتروژن و آرگون نهشت داده شده اند. در حالی که شار کل گاز در داخل دستگاه کندوپاش ثابت نگه داشته می شود تأثیر محتوای نیتروژن بر روی جهت گیری بلوری، مورفولوژی سطح و خواص رسانندگی سطحی نمونه ها به ترتیب توسط پراکندگی پرتو ایکس (XRD)، میکروسکوپ نیروی اتمی (AFM) و مقاومت سنج سطحی چهار سوزنی بررسی می شود.
واژه‌های کلیدی: لایه نازک، نیتریدمس، کندوپاش مگنترونی، میکروسوپ نیروی اتمی، مقاومت سطحی
متن کامل [PDF 527 kb]   (858 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Darvishpour A, Ghahremani A. The influence of nitrogen content on the physical properties Cu3N thin films Produced by DC Magnetron Sputtering. ICOP & ICPET. 2014; 20 :413-416
URL: http://opsi.ir/article-1-200-fa.html

درویش پور عبدالرحمن، قهرمانی علی. بررسی تأثیر مقدار نیتروژن بر خواص فیزیکی لایه‌های نازک نیتریدمس تهیه شده به روش کندوپاش مگنترونی DC. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1392; 20 () :413-416

URL: http://opsi.ir/article-1-200-fa.html



جلد 20 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3781