[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 24 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و چهارمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال24 صفحات 45-48 برگشت به فهرست نسخه ها
بررسی اثر دما و آهنگ لایه‌نشانی بر خواص فیزیکی فیلم ‌نازک نانومتری ITO
آرزو مشبکی* 1، عرفان کدیور1، علی رضا فیروزی فر1
1- دانشگاه صنعتی شیراز
چکیده:   (47 مشاهده)
از مباحث با اهمیت در طراحی و ساخت قطعات نیمرسانای آلی، ساخت زیرلایه­ با ویژگی های اپتیکی و فیزیکی مناسب است. در این مطالعه تأثیر دماهای مختلف حین لایه­نشانی و همچنین تغییر در آهنگ لایه­نشانی بر زبری سطح و مقاومت الکتریکی لایه­های نازک رسانای شفاف که بر زیرلایه ای از جنس BK7 لایه­نشانی شده است، مورد بررسی قرار گرفت. بدین منظور لایه­نازک نانومتری رسانای شفاف اکسید اینیدیوم آلاییده شده با قلع (ITO) روی زیرلایه به روش کندوپاش DC در دما و آهنگ­های لایه­نشانی مختلف، پوشش داده شده است. تأثیر گرمادهی در دو محیط خلأ و هوا پس از لایه­نشانی بررسی شد. طیف عبوری در ناحیه مرئی بوسیله دستگاه طیف سنج دو پرتویی و مقاومت الکتریکی سطحی پوشش توسط دستگاه پروپ چهارسر اندازه­گیری شده است. کیفیت و زبری سطح قطعه توسط میکروسکوپ AFM بررسی شد. نتایج حاصل از آنالیزها نشان داد که کاهش آهنگ لایه­نشانی، تأثیر بسزایی در کاهش زبری سطح خطی فیلم و مقاومت الکتریکی نمونه­ها دارد.
واژه‌های کلیدی: اکسید قلع و اینیدیوم(ITO)، زبری سطح، طیف عبوری، لایه نشانی، مقاومت الکتریکی
متن کامل [PDF 871 kb]   (19 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Moshabaki A, Kadivar E, Firoozi Far A. Experimental investigation of substrate temperature and deposition rate on physical properties of ITO thin film. ICOP & ICPET. 2018; 24 :45-48
URL: http://opsi.ir/article-1-1633-fa.html

مشبکی آرزو، کدیور عرفان، فیروزی فر علی رضا. بررسی اثر دما و آهنگ لایه‌نشانی بر خواص فیزیکی فیلم ‌نازک نانومتری ITO . کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1396; 24 () :45-48

URL: http://opsi.ir/article-1-1633-fa.html



جلد 24 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و چهارمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.08 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3731