اشتراک در خبرنامه
لطفاً نشانی پست الکترونیک خود را برای دریافت اطلاعات و اخبار پایگاه در کادر زیر وارد کنید.
آمار سایت
- کل کاربران ثبت شده: 1961 کاربر
- کاربران حاضر در وبگاه: 0 کاربر
- میهمانان در حال بازدید: 249 کاربر
- تمام بازدید‌ها: 21770618 بازدید
- بازدید ۲۴ ساعت گذشته: 14932 بازدید
کنفرانس های انجمن
همایش
اپتیک و فوتونیک،
بهمن 1403
(برگزار شد)
استفاده از مطالب ارائه شده در این پایگاه با ذکر منبع آزاد می باشد.
جلد 24 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و چهارمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال24 صفحات 48-45 |
برگشت به فهرست نسخه ها
Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
Moshabaki A, Kadivar E, Firoozi Far A. Experimental investigation of substrate temperature and deposition rate on physical properties of ITO thin film. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2018; 24 :45-48
URL: http://opsi.ir/article-1-1633-fa.html
URL: http://opsi.ir/article-1-1633-fa.html
مشبکی آرزو، کدیور عرفان، فیروزی فر علی رضا. بررسی اثر دما و آهنگ لایهنشانی بر خواص فیزیکی فیلم نازک نانومتری ITO . مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1396; 24 () :45-48
آرزو مشبکی*1 
، عرفان کدیور1 ، علی رضا فیروزی فر1
، عرفان کدیور1 ، علی رضا فیروزی فر1
1- دانشگاه صنعتی شیراز
چکیده: (2773 مشاهده)
از مباحث با اهمیت در طراحی و ساخت قطعات نیمرسانای آلی، ساخت زیرلایه با ویژگی های اپتیکی و فیزیکی مناسب است. در این مطالعه تأثیر دماهای مختلف حین لایهنشانی و همچنین تغییر در آهنگ لایهنشانی بر زبری سطح و مقاومت الکتریکی لایههای نازک رسانای شفاف که بر زیرلایه ای از جنس BK7 لایهنشانی شده است، مورد بررسی قرار گرفت. بدین منظور لایهنازک نانومتری رسانای شفاف اکسید اینیدیوم آلاییده شده با قلع (ITO) روی زیرلایه به روش کندوپاش DC در دما و آهنگهای لایهنشانی مختلف، پوشش داده شده است. تأثیر گرمادهی در دو محیط خلأ و هوا پس از لایهنشانی بررسی شد. طیف عبوری در ناحیه مرئی بوسیله دستگاه طیف سنج دو پرتویی و مقاومت الکتریکی سطحی پوشش توسط دستگاه پروپ چهارسر اندازهگیری شده است. کیفیت و زبری سطح قطعه توسط میکروسکوپ AFM بررسی شد. نتایج حاصل از آنالیزها نشان داد که کاهش آهنگ لایهنشانی، تأثیر بسزایی در کاهش زبری سطح خطی فیلم و مقاومت الکتریکی نمونهها دارد.
| بازنشر اطلاعات | |
 |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |
