[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 23 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و سومین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال23 صفحات 517-520 برگشت به فهرست نسخه ها
بررسی و مقایسه دو روش تداخل سنجی جابجایی فاز و تبدیل فوریه در اندازه‌گیری مورفولوژی سطوح
سیاوش باقری* 1، محمد رضا جعفر فرد2، محمد حسین مهدیه3
1- کارشناسی ارشد دانشگاه علم و صنعت
2- استاد یار دانشگاه علم و صنعت
3- استاد دانشگاه علم و صنعت
چکیده:   (817 مشاهده)

در این مقاله، دو روش تداخل‌سنجی برای اندازه‌گیری مورفولوژی سطح مورد بررسی قرار داده شده است. نمونه شبیه‌سازی در نظر گرفته‌شده برای این مطالعه، یک توری پراش 600 خط در میلی‌متر بود. طرح تداخلی برای این نمونه شبیه‌سازی شد و روش‌های تبدیل فوریه و جابجایی فاز برای استخراج پروفایل سطح نمونه از این طرح تداخلی بکار گرفته شد. کدهای مربوط به هرکدام از روش‌ها در نرم‌افزار متلب نوشته شد و سپس با استفاده از پردازش تصویر عددی، پروفایل سطح به‌دست‌آمده از هر یک از روش‌ها مورد تحلیل و بررسی قرار داده شد. نتایج نشان می‌دهد که در سیستم‌های ایده‌آل با نویز بسیار کم، مقدار خطای اندازه‌گیری مورفولوژی در روش جابجایی فاز نسبت به روش تبدیل فوریه کمتر است. همچنین نشان داده می‌شود که حساسیت روش تبدیل فوریه به تغییرات نویز نسبت به روش جابجایی فاز کمتر است و این روش برای سیستم‌های با نویز زیاد نسبت به روش جابجایی فاز ارجحیت دارد.

واژه‌های کلیدی: پروفایل سنجی سطوح، نقشه سطح، تداخل‌سنجی جابجایی فاز، تداخل سنجی تبدیل فوریه
متن کامل [PDF 318 kb]   (328 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Bagherie S, Jafarfard M R, mahdieh M H. An Investigation on Surface Morphology Measurement Based on Fourier Transform and Phase Shifting Method. ICOP & ICPET. 2017; 23 :517-520
URL: http://opsi.ir/article-1-1219-fa.html

باقری سیاوش، جعفر فرد محمد رضا، مهدیه محمد حسین. بررسی و مقایسه دو روش تداخل سنجی جابجایی فاز و تبدیل فوریه در اندازه‌گیری مورفولوژی سطوح. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1395; 23 () :517-520

URL: http://opsi.ir/article-1-1219-fa.html



جلد 23 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و سومین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.05 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3741