حمایت از انجمن


برای حمایت لطفا روی بخش پایین کلیک کنید.
 
حمایت مالی از انجمن اپتیک و فوتونیک ایران
جلد 23 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و سومین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران                   ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS سال23 صفحات 520-517 | برگشت به فهرست نسخه ها

XML English Abstract Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Bagherie S, Jafarfard M R, mahdieh M H. An Investigation on Surface Morphology Measurement Based on Fourier Transform and Phase Shifting Method. ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS 2017; 23 :517-520
URL: http://opsi.ir/article-1-1219-fa.html
باقری سیاوش، جعفر فرد محمد رضا، مهدیه محمد حسین. بررسی و مقایسه دو روش تداخل سنجی جابجایی فاز و تبدیل فوریه در اندازه‌گیری مورفولوژی سطوح. مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانس‌های انجمن اپتیک و فوتونیک ایران. 1395; 23 () :517-520

URL: http://opsi.ir/article-1-1219-fa.html


1- دانشگاه علم و صنعت
چکیده:   (2502 مشاهده)

در این مقاله، دو روش تداخل‌سنجی برای اندازه‌گیری مورفولوژی سطح مورد بررسی قرار داده شده است. نمونه شبیه‌سازی در نظر گرفته‌شده برای این مطالعه، یک توری پراش 600 خط در میلی‌متر بود. طرح تداخلی برای این نمونه شبیه‌سازی شد و روش‌های تبدیل فوریه و جابجایی فاز برای استخراج پروفایل سطح نمونه از این طرح تداخلی بکار گرفته شد. کدهای مربوط به هرکدام از روش‌ها در نرم‌افزار متلب نوشته شد و سپس با استفاده از پردازش تصویر عددی، پروفایل سطح به‌دست‌آمده از هر یک از روش‌ها مورد تحلیل و بررسی قرار داده شد. نتایج نشان می‌دهد که در سیستم‌های ایده‌آل با نویز بسیار کم، مقدار خطای اندازه‌گیری مورفولوژی در روش جابجایی فاز نسبت به روش تبدیل فوریه کمتر است. همچنین نشان داده می‌شود که حساسیت روش تبدیل فوریه به تغییرات نویز نسبت به روش جابجایی فاز کمتر است و این روش برای سیستم‌های با نویز زیاد نسبت به روش جابجایی فاز ارجحیت دارد.

متن کامل [PDF 318 kb]   (1075 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی

ارسال پیام به نویسنده مسئول


بازنشر اطلاعات
Creative Commons License این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است.

کلیه حقوق این وب سایت متعلق به انجمن اپتیک و فوتونیک ایران می باشد.

طراحی و برنامه نویسی : یکتاوب افزار شرق

© 2024 All Rights Reserved | Optics and Photonics Society of Iran

Designed & Developed by : Yektaweb