برقراری ارتباط
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:
URL: http://opsi.ir/article-1-1219-fa.html
در این مقاله، دو روش تداخلسنجی برای اندازهگیری مورفولوژی سطح مورد بررسی قرار داده شده است. نمونه شبیهسازی در نظر گرفتهشده برای این مطالعه، یک توری پراش 600 خط در میلیمتر بود. طرح تداخلی برای این نمونه شبیهسازی شد و روشهای تبدیل فوریه و جابجایی فاز برای استخراج پروفایل سطح نمونه از این طرح تداخلی بکار گرفته شد. کدهای مربوط به هرکدام از روشها در نرمافزار متلب نوشته شد و سپس با استفاده از پردازش تصویر عددی، پروفایل سطح بهدستآمده از هر یک از روشها مورد تحلیل و بررسی قرار داده شد. نتایج نشان میدهد که در سیستمهای ایدهآل با نویز بسیار کم، مقدار خطای اندازهگیری مورفولوژی در روش جابجایی فاز نسبت به روش تبدیل فوریه کمتر است. همچنین نشان داده میشود که حساسیت روش تبدیل فوریه به تغییرات نویز نسبت به روش جابجایی فاز کمتر است و این روش برای سیستمهای با نویز زیاد نسبت به روش جابجایی فاز ارجحیت دارد.
بازنشر اطلاعات | |
این مقاله تحت شرایط Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License قابل بازنشر است. |