الکترونيک پلاسما - مورد استفاده در ساخت ابزارهای ميکروالکترونيکی
در سه دهه ی گذشته، کاربردهای پلاسمای کم دما از روشنايی مقدماتی تا ساخت شبکه های ميکروالکترونيک و مواد جديد، به طور وسيعی گسترش يافته است. در اين کتاب، به طور خاص، پلاسماهای با بسامد راديويی در بازه-ی 〖10〗^5 Hzتا〖10〗^9 Hz که برای پردازش مواد فلزی، نيمه هادی و دي الکتريک برای ساخت مدارهای مجتمع با ابعاد فوق العاده بزرگ (ULSI) و رسوب گذاری گونه های مختلف فيلم های نازک و اصلاح خواص سطحی استفاده می‌شوند مورد تحليل قرار گرفته اند.
برای دريافت پيشگفتار مولفان و فهرست مطالب کتاب اينجا کليک نماييد.
