[صفحه اصلی ]   [Archive] [ English ]  
:: جلد 22 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و دومین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران ::
ICOP & ICPET سال22 صفحات 750-753 برگشت به فهرست نسخه ها
ساخت ماسک لیتوگرافی موجبر ماخ – زندر به کمک جاروب لیزری
آقای امیر حسین شهبازی* 1، آقای محمد آزاده2، دکتر خسرو معدنی پور3، دکتر عطا کوهیان4
1- دانشجوی دکترا دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
2- دانشجو دانشگاه تهران
3- دانشیار دانشگاه صنعتی امیرکبیر
4- دانشیار دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
چکیده:   (1061 مشاهده)

در این مقاله به نحوه ساخت ماسک لیتوگرافی یک به یک جهت تولید انواع موجبرها و بطور خاص موجبر ماخ-زندر در بستر الکترواپتیک پرداخته‌ایم. برای این کار ابتدا روی زیرلایه‌ای از جنس شیشه، لایه نازکی از مس لایه‌نشانی کرده و سپس با استفاده از جاروب لیزری طرح‌واره موجبر ماخ – زندر روی آن ایجاد می‌گردد. لیزر مورد استفاده از نوع دیودی با طول موج 405nm و توان 65mW می‌باشد. پهنای کندگی به ازای ضخامت لایه‌نشانی شده 100nm، 8.5µm می‌باشد. زاویه میان شاخه‌های ایجاد شده در اتصال Y ماسک ماخ – زندر 2.8° در نظر گرفته شده است.

واژه‌های کلیدی: جاروب لیزری، لایه نازک مس، ماسک لیتوگرافی، موجبر ماخ – زندر
متن کامل [PDF 350 kb]   (424 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: تخصصی
ارسال پیام به نویسنده مسئول

ارسال نظر درباره این مقاله
نام کاربری یا پست الکترونیک شما:

CAPTCHA code


XML   English Abstract   Print


Download citation:
BibTeX | RIS | EndNote | Medlars | ProCite | Reference Manager | RefWorks
Send citation to:

Shahbazi A H, Azadeh M, Madani Pour K, Koohian A. Constructing Photomask for Mach – Zehnder Waveguide using Laser Scanning. ICOP & ICPET. 2016; 22 :750-753
URL: http://opsi.ir/article-1-952-fa.html

شهبازی امیر حسین، آزاده محمد، معدنی پور خسرو، کوهیان عطا. ساخت ماسک لیتوگرافی موجبر ماخ – زندر به کمک جاروب لیزری. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1394; 22 () :750-753

URL: http://opsi.ir/article-1-952-fa.html



جلد 22 - مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و دومین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران برگشت به فهرست نسخه ها
انجمن اپتیک و فوتونیک ایران Optics and Photonics Society of Iran
Persian site map - English site map - Created in 0.07 seconds with 30 queries by YEKTAWEB 3752