|
ساخت ماسک لیتوگرافی موجبر ماخ – زندر به کمک جاروب لیزری
|
| آقای امیر حسین شهبازی* 1، آقای محمد آزاده2، دکتر خسرو معدنی پور3، دکتر عطا کوهیان1 |
1- دانشکده فیزیک دانشگاه تهران
2- دانشگاه تهران
3- دانشگاه صنعتی امیرکبیر |
|
|
چکیده: (1098 مشاهده) |
در این مقاله به نحوه ساخت ماسک لیتوگرافی یک به یک جهت تولید انواع موجبرها و بطور خاص موجبر ماخ-زندر در بستر الکترواپتیک پرداخته‌ایم. برای این کار ابتدا روی زیرلایه‌ای از جنس شیشه، لایه نازکی از مس لایه‌نشانی کرده و سپس با استفاده از جاروب لیزری طرح‌واره موجبر ماخ – زندر روی آن ایجاد می‌گردد. لیزر مورد استفاده از نوع دیودی با طول موج 405nm و توان 65mW می‌باشد. پهنای کندگی به ازای ضخامت لایه‌نشانی شده 100nm، 8.5µm می‌باشد. زاویه میان شاخه‌های ایجاد شده در اتصال Y ماسک ماخ – زندر 2.8° در نظر گرفته شده است. |
|
| واژه‌های کلیدی: جاروب لیزری، لایه نازک مس، ماسک لیتوگرافی، موجبر ماخ – زندر |
|
|
متن کامل [PDF 350 kb]
(437 دریافت)
|
|
نوع مطالعه: پژوهشي |
موضوع مقاله:
تخصصی
|
|
|
|
|
|
|
| ارسال پیام به نویسنده مسئول |
|
|
|
| ارسال نظر درباره این مقاله |
|
|
|
