1- دانشکده فیزیک دانشگاه تهران 2- دانشگاه تهران 3- دانشگاه صنعتی امیرکبیر
چکیده: (1167 مشاهده)
در این مقاله به نحوه ساخت ماسک لیتوگرافی یک به یک جهت تولید انواع موجبرها و بطور خاص موجبر ماخ-زندر در بستر الکترواپتیک پرداختهایم. برای این کار ابتدا روی زیرلایهای از جنس شیشه، لایه نازکی از مس لایهنشانی کرده و سپس با استفاده از جاروب لیزری طرحواره موجبر ماخ – زندر روی آن ایجاد میگردد. لیزر مورد استفاده از نوع دیودی با طول موج 405nm و توان 65mW میباشد. پهنای کندگی به ازای ضخامت لایهنشانی شده 100nm، 8.5µm میباشد. زاویه میان شاخههای ایجاد شده در اتصال Y ماسک ماخ – زندر 2.8° در نظر گرفته شده است.
Shahbazi A H, Azadeh M, Madani Pour K, Koohian A. Constructing Photomask for Mach – Zehnder Waveguide using Laser Scanning. ICOP & ICPET. 2016; 22 :750-753 URL: http://opsi.ir/article-1-952-fa.html
شهبازی امیر حسین، آزاده محمد، معدنی پور خسرو، کوهیان عطا. ساخت ماسک لیتوگرافی موجبر ماخ – زندر به کمک جاروب لیزری. کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران و کنفرانس مهندسی و فناوری فوتونیک ایران. 1394; 22 () :750-753