در این مقاله زبری سطح، آهنگ انباشت و تنش پسماند لایه نازک کروم بر زیرلایه‌های شیشه و گالیم آرسناید به کمک آنالیزهای AFM، ضخامت‌سنجی و روش انحنای زیرلایه مورد بررسی قرار گرفته است. بدین منظور لایه کروم با ضخامت‌های 120-40 نانومتر به روش کندوپاش رادیو فرکانسی بر زیرلایه‌های مذکور لایه‌نشانی شد. نتایج نشان می‌دهد آهنگ انباشت و زبری سطح لایه کروم روی شیشه بیشتر از گالیم‌ آرسناید است و در هر دو زیرلایه با افزایش ضخامت، زبری سطح افزایش می‌یابد. همچنین ضخامت بهینه تنش پسماند برای زیرلایه گالیم‌ آرسناید 58 نانومتر و برای شیشه 62 نانومتر بدست آمد.

واژه‌های کلیدی: آهنگ انباشت، تنش پسماند، زبری سطح، کروم.

متن کامل [PDF 409 kb]   (1162 دریافت)