Accepted and Presented Articles of OPSI Conferences
مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانسهای انجمن اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS
Basic Sciences
http://opsi.ir
1
admin
1126-3278
10
8
7
14
8888
13
fa
jalali
1393
12
1
gregorian
2015
3
1
21
مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیست و یکمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
online
1
fulltext
fa
تعیین کیفیت جاروب لیزری برای ساخت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون
Quality Determination of Laser Scanning in Optical Mask Construction by Modulation Transfer Function
تخصصی
Special
پژوهشي
Research
یکی از روشهای لیتوگرافی، جاروب لیزری است. این روش همچنین در ساخت ماسک اپتیکی کاربرد دارد. در مقاله پیشرو روشی برای تعیین کیفیت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون ارائه میگردد. برای ساخت ماسک از لایه نازک اکسید مس که جذب بالایی در طیف مرئی و فرابنفش دارد، به همراه جاروب لیزر پرتوان 532nm استفاده شد. همچنین تصویر ماسک به کمک میکروسکوپ ذخیره و بعد از تصحیح آن و تبدیل فوریه ، تابع انتقال مدولاسیون تشکیل و معیاری از کیفیت بدست میآید.
Laser scanning is one of the methods used in Lithography. It’s also useful in optical mask construction. In this paper a method for quality determination of optical mask is presented. The method is based on Modulation Transfer Function (MTF). In order to construct an optical mask, a copper thin film (with high absorption in visible and UV spectra) and a high power 532nm scanning laser is utilized. Finally MTF is formed using Fourier transform of the mask image which could be interpreted as a quality factor.
تابع انتقال مدولاسیون, جاروب لیزری, لایه نازک مس و ماسک اپتیکی
Modulation transfer function, laser scanning, copper thin film, and optical mask
989
992
http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-845&slc_lang=fa&sid=1
Amir Hossein
Shahbazi
امیر حسین
شهبازی
amir.shahbazi@ut.ac.ir
10031947532846003933
10031947532846003933
Yes
University of Tehran
دانشگاه تهران
Khosrow
Madani Pour
خسرو
معدنی پور
madanipour@aut.ac.ir
10031947532846003934
10031947532846003934
No
AmirKabir University of Technology
دانشگاه صنعتی امیرکبیر
Ataollah
Koohian
عطا الله
کوهیان
koohian@ut.ac.ir
10031947532846003935
10031947532846003935
No
University of Tehran
دانشگاه تهران