RT - Journal Article T1 - Determination of Thickness, Density and Roughness of ITO Thin Film by XRR Technique JF - opsi YR - 2015 JO - opsi VO - 21 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-505-fa.html SP - 177 EP - 180 K1 - Thin film K1 - X-Ray reflectivity (XRR) K1 - Indium Tin Oxide (ITO). AB - در این تحقیق، لایه نازک اکسید ایندیوم قلع به روش تبخیر با پرتو الکترونی بر زیرلایه شیشه تهیه شده است. سپس با استفاده از تکنیک بازتاب سنجی پرتو XRR)X) نمودار لگاریتمی شدت برحسب θ2 (θ زاویه تابش پرتو x) رسم شده است و با استفاده از داده های حاصل از XRR ضخامت ، چگالی و ناهمواری سطح لایه نازک محاسبه شده است نتایج حاصله توافق خوبی با نتایج حاصل از AFM و طیف عبوری UV-VIS_NIRاز خود نشان داده است. LA eng UL http://opsi.ir/article-1-505-fa.html M3 ER -