fa طراحی و ساخت سنسور فشار فیبر نوری مبتنی بر فابری پرو دیافراگمی تخصصی Special پژوهشي Research در این مقاله سنسور فشار فیبر نوری بر اساس تداخل سنج فابری پرو ارائه شده است. طراحی و ساخت سنسور بر پایه تکنیک ساختار میکرو الکترو مکانیکی (MEMS) است. آنالیز دیافراگم پلیمری به صورت تحلیلی انجام شده است. سنسور فشار پاسخ تقریبا خطی به فشار اعمالی در محدوده 0 تا 15Kpa در دمای آزمایشگاه نشان می دهد. برای سنسورهایی با ضخامت دیافراگم mm 1/1 و mm 1/3 به ترتیب حساسیت های nm/Kpa 644- و nm/Kpa 417- بدست آمده است که کمترین حد آشکارسازی به ترتیب Pa 3-10×4 و Pa 3-10×6 می باشد. همچنین مدول یانگ و فرکانس تشدید این دیافراگم بر اساس نتایج تجربی محاسبه شده است. ساخت آسان، اندازه کوچک، و پاسخ خطی این سنسور آن را برای بسیاری از کاربردهای صنعتی مناسب می سازد. This paper presents the fiber pressure sensor based on Fabry-Perote interferometry. The design and fabrication of the sensor are based on MEMS technique. The polymer diaphragm analysis was done theoretically. The pressure sensor response is approximately linear in the range from 0 to 15 Kpa at room temperature. For sensor with 1.1mm and 3.1 mm diaphragm thickness, the sensitivities are -644 nm/Kpa and -417 nm/Kpa with limit of detection of 4×10-3 Pa and 6×10-3Pa, respectively. Also, the young’s modulus and resonance frequency of diaphragm was calculated according to experimental results. The simple fabrication, small size, and linear response make the sensor suitable for many industrial applications. دیافراگم , حسگر فشار, فیبر نوری, فابری پرو. Diaphragm, Fabry-Perot, Fiber optic, Pressure sensor. 1429 1432 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-719&slc_lang=fa&sid=1 Azam Layeghi اعظم لایقی a.layeghi@gmail.com 10031947532846003552 10031947532846003552 No دانشگاه شهید بهشتی-پژوهشکده لیزر Mohsen Jamshidi Seresht محسن جمشیدی mohsenjamshidi90@yahoo.com 10031947532846003553 10031947532846003553 No Hesamodin Khashei حسام الدین خاشعی hesam.khashei@yahoo.com 10031947532846003554 10031947532846003554 No Hamid Latifi حمید لطیفی latifi@sbu.ac.ir 10031947532846003555 10031947532846003555 Yes