fa طیف سنجی تابشی از پلاسمای آرگون – نیتروژن در کندوپاش مغناطیسی DC تخصصی Special پژوهشي Research در این کار اثر میزان نیتروژن موجود در محفظه و همچنین اثر گذشت زمان بر روی ویژگی های پلاسما وگونه های موجود در محفظه ی کندوپاش به وسیله طیف سنجی تابش اپتیکی تخلیه ی نورانی, مورد ارزیابی قرار گرفت. نتایج نشان می دهد که ولتاژ پلاسما با افزایش زمان لایه نشانی کاهش می یابد. بررسی های حاصل از طیف سنجی در درصدهای مختلف نیتروژن موجود در محفظه لایه نشانی نشان دادند که با افزایش درصد نیتروژن، یونیزاسیون نسبی آرگون و تفکیک نسبی نیتروژن افزایش می یابد، درهمین حال یونیزاسیون نسبی نیتروژن اتمی و ملکولی کاهش می یابد. با افزایش زمان لایه نشانی یونیزاسیون نسبی آرگون، نسبت نیتروژن ملکولی به آرگون و تفکیک نسبی نیتروژن کاهش یافته ولی یونیزاسیون نسبی نیتروژن اتمی و ملکولی افزایش می یابد. Effects of nitrogen percentage were investigated on plasma parameters and plasma species, also these parameters were investigated during the deposition time. Results showed that breakdown voltage increased with increasing percentage of nitrogen and plasma voltage decreased during the deposition time. OES results showed that with increasing nitrogen percentage, argon relative ionization and relative dissociation of nitrogen increased, while the relative ionization of nitrogen decreased. OES results also showed that the argon relative ionization, relative excitation of molecular nitrogen and relative dissociation of nitrogen decreased during the deposition time, conversely the relative ionization of nitrogen increased. تانتالوم نیتراید, طیف سنجی تابش, کندوپاش مغناطیسی, ولتاژ شکست Tantalum nitride, Optical Emission Specroscopy, magnetron sputtering, breakdown voltage 1321 1324 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-647&slc_lang=fa&sid=1 Saeed Golshan Khavas سعید گلشن خواص sgk_atomic@yahoo.com 10031947532846003325 10031947532846003325 Yes University of Tehran دانشگاه تهران Saeed Ghasemi سعید قاسمی sd.ghasemy@gmail.com 10031947532846003326 10031947532846003326 No University of Shahid Beheshti دانشگاه شهید بهشتی Ataollah Koohian عطاالله کوهیان koohian@gmail.com 10031947532846003327 10031947532846003327 No University of Tehran دانشگاه تهران Hamid Reza Ghomi حمید رضا قمی h21hamid@yahoo.com 10031947532846003328 10031947532846003328 No University of Shahid Beheshti دانشگاه شهید بهشتی