fa اندازه‌گیری ضریب‌شکست و ارتفاع لایه‌های نازک شفاف با استفاده از پراش فرنل از پله فازی تخصصی Special پژوهشي Research تعیین دقیق ثابت‌های نوری لایه‌های نازک، از چالش‌های موجود در علوم و صنایع مدرن به حساب می‌آید. در این مقاله روشی جدید برای به‌دست آوردن ضریب‌شکست و ضخامت لایه‌های نازک دی‌الکتریک، ارائه داده‌ایم. این روش بر پراش فرنل از پله فازی عبوری استوار است. با ثبت نقش پراش پله فازی در زوایای مختلف فرودی و تحلیل آن‌ها، نمودار نمایانی بر حسب زاویه فرود به‌دست می‌آید. ضریب‌شکست و ارتفاع، از طریق برازش داده‌های شبیه‌سازی شده به منحنی تجربی (نمایانی بر حسب زاویه فرودی) تعیین می‌شوند. با استفاده از این روش، دقت اندازه‌گیری ضریب شکست و ضخامت لایه‌های نازک میکرومتری به ترتیب 0.5 و 0.1 درصد است. Measuring optical parameters of thin films with high accuracy is a challenge in modern science and industry. We introduce a new method to obtain refractive index and thickness of transparent dielectric layer. This method is based on Fresnel diffraction from the phase step in transmission. By recording and analyzing the diffraction pattern versus incident angle, the diagram of visibility versus incident angle is obtained. Therefore by fitting simulated data to experimental ones (visibility versus incident angle), refractive index and height of phase step is determined. The uncertainties of determination of refractive index and thickness are about 0.5% and 0.1%, respectively. پله فازی, پراش فرنل, ضخامت, ضریب‌شکست, لایه‌های نازک. Fresnel Diffraction, Phase step, Thickness, Thin films, Refractive index. 1473 1476 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-627&slc_lang=fa&sid=1 Morteza Jafari Siavashani مرتضی جعفری سیاوشانی m.siavashani@iasbs.ac.ir 10031947532846003273 10031947532846003273 Yes Institute for Advanced Studies in Basic Sciences دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان Mohammad Taghi Tavassoly محمد تقی توسلی tavassoli@iasbs.ac.ir 10031947532846003274 10031947532846003274 No University of Tehran دانشگاه تهران Ehsan Ahadi Akhlaghi احسان احدی اخلاقی e.a.akhlaghi@iasbs.ac.ir 10031947532846003275 10031947532846003275 No Institute for Advanced Studies in Basic Sciences دانشگاه تحصیلات S. Roohollah Hosseini سید روح الله حسینی sr_hosseini@ut.ac.ir 10031947532846003276 10031947532846003276 No University of Tehran دانشگاه تهران