fa طراحی و لایه‌نشانی نانوساختار رسانای شفاف ITO بر بستره اکریلیک به روش کندوپاش DC و بررسی ویژگی‌های ساختاری و اپتیکی آن تخصصی Special پژوهشي Research در این پژوهش بهینه‌سازی فرایند سونش سطح بستره با پلاسمای فرکانس رادیویی و سپس لایه‌نشانی ماده ITO به روش کندوپاش جریان مستقیم بر روی بستره اکریلیک به گونه‌ای انجام شد که علاوه بر دستیابی به چسبندگی مناسب لایه به بستره، مقاومت الکتریکی و عبور اپتیکی نمونه به ترتیب کمینه و بیشینه باشند. همچنین خواص اپتیکی و ریخت‌شناسی سطح بستره‌ها مورد بررسی قرار گرفت و شرایط بهینه جهت انجام هر دو فرایند سونش با پلاسما و نیز لایه‌نشانی ITO بر بستره اکریلیک بدست آمد. In this research, we have optimized the condition of RF plasma etching and ITO thin film by DC magnetron sputtering system on acrylic substrates. We want to reach the best adhesion of thin film to the substrate, the maximum optical transmittance of samples in the visible range and the minimum electrical resistant of ITO thin film. The morphology of substrate and thin film were investigated and optimum condition for plasma etching and ITO coating were reached. لایه نازک, ITO, بستره پلیمری, خواص الکترواپتیکی. Thin film, ITO, Polymer substrate, Electro-Optical properties. 585 588 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-592&slc_lang=fa&sid=1 Alireza Firoozifar علیرضا فیروزی فر alirezafiroozifar@gmail.com 10031947532846003173 10031947532846003173 Yes Isfahan Optic Industry صنایع اپتیک اصفهان Hosein Zabolian حسین زابلیان 10031947532846003174 10031947532846003174 No Isfahan Optic Industry صنایع اپتیک اصفهان Mahmood Varpaei محمود ورپایی 10031947532846003175 10031947532846003175 No Isfahan Optic Industry صنایع اپتیک اصفهان Mehdi Mardiha مهدی مردیها 10031947532846003176 10031947532846003176 No Isfahan Optic Industry صنایع اپتیک اصفهان Mohammad Jannesari محمد جان نثاری 10031947532846003177 10031947532846003177 No Isfahan Optic Industry صنایع اپتیک اصفهان Javad Shahmohammadi جواد شاه محمدی 10031947532846003178 10031947532846003178 No Isfahan Optic Industry صنایع اپتیک اصفهان