fa بررسی تاثیر شرایط انباشت بر خواص نوری لایه نازک یتریا (Y2O3) تخصصی Special پژوهشي Research در این مقاله، تاثیر شرایط انباشت از جمله دمای بستره، آهنگ انباشت و فشارجزئی اکسیژن در طول انباشت، بر خواص نوری لایه نازک یتریا بررسی شده است. لایه نشانی به روش تبخیر واکنشی با پرتوی الکترون و در خلاء اولیه از مرتبه 6-10میلی بار انجام گرفته است و اندازگیری بیشینه­ بازتاب، به وسیله طیف­سنجی در گستره 400-800 نانومتر انجام شده است. نتایج نشان داد که فشار جزئی اکسیژن بیشترین تأثیر را در بین شرایط انباشت دارد. بنابراین، توانستیم با استفاده از این شرط، ساختارهای لایه نازک با خواص نوری متفاوت و از یک ماده یکسان ایجاد کنیم. In this paper, the impact of deposition conditions such as substrate temperature, rate of deposition and residual oxygen partial pressure were investigated on the optical properties of yttria thin films. The deposition was made by reactive electron beam evaporation in vacuum of 10-6 orders and measuring reflectance maximum was done by spectroscopy in 400-800 nm region. The results showed that partial pressure of oxygen had the strongest effect on optical properties. Therefore, using this condition, we managed to make thin films structures with different optical properties and the same material. چگالی درهم پکیدگی , لایه نازک, متخلخل, یتریوم دی اکسید Yttrium dioxide, Packing Density, Porous, Thin film 413 416 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-575&slc_lang=fa&sid=1 mohammad mahdi hamzenejad محمدمهدی حمزه نژاد mohammadhamze22@gmail.com 10031947532846003123 10031947532846003123 Yes morteza Haji Mahmoodzadeh مرتضی حاجی محمودزاده morteza@sci.ui.ac.ir 10031947532846003124 10031947532846003124 No hamid reza fallah حمیدرضا فلاح hfallah@sci.ui.ac.ir 10031947532846003125 10031947532846003125 No hossein zabolian حسین زابلیان zabolian_h@yahoo.com 10031947532846003126 10031947532846003126 No