fa بررسی ساختاری و بهینه سازی تنش پسماند نانولایه کروم بر روی زیرلایه های شیشه و گالیم آرسناید تخصصی Special پژوهشي Research در این مقاله زبری سطح، آهنگ انباشت و تنش پسماند لایه نازک کروم بر زیرلایه‌های شیشه و گالیم آرسناید به کمک آنالیزهای AFM، ضخامت‌سنجی و روش انحنای زیرلایه مورد بررسی قرار گرفته است. بدین منظور لایه کروم با ضخامت‌های 120-40 نانومتر به روش کندوپاش رادیو فرکانسی بر زیرلایه‌های مذکور لایه‌نشانی شد. نتایج نشان می‌دهد آهنگ انباشت و زبری سطح لایه کروم روی شیشه بیشتر از گالیم‌ آرسناید است و در هر دو زیرلایه با افزایش ضخامت، زبری سطح افزایش می‌یابد. همچنین ضخامت بهینه تنش پسماند برای زیرلایه گالیم‌ آرسناید 58 نانومتر و برای شیشه 62 نانومتر بدست آمد. In this study surface roughness, deposition rate and residual stress of Cr thin film on glass and GaAs substrates were investigated by AFM analysis, thickness measurement and substrate curvature method. For this aim Cr layer with different thicknesses, 40-120 nm, was deposited on mentioned substrates by RF sputtering. Results show that deposition rate and surface roughness of Cr layer on glass is more than GaAs and on both substrates by increasing thickness, roughness increases. Also optimized thickness for residual stress obtained at 58 nm for GaAs substrate and at 62 nm for glass. آهنگ انباشت, تنش پسماند, زبری سطح, کروم. Cr, deposition rate, residual stress, roughness. 1053 1056 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-402&slc_lang=fa&sid=1 mahdie parvizian مهدیه پرویزیان mahdieparvizian@yahoo.com 10031947532846001414 10031947532846001414 Yes Iranian National Center for Laser Science and technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران fariba rahimi ashtari فریبا رحیمی اشتری dokfaraher@yahoo.com 10031947532846001415 10031947532846001415 No Iranian National Center for Laser Science and technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران amir goodarzi امیر گودرزی amir.goodarzi@gmail.com 10031947532846001416 10031947532846001416 No Iranian National Center for Laser Science and technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران behrang sabrlouie بهرنگ صبرلوی behrangsabrlouie@gmail.com 10031947532846001417 10031947532846001417 No Iranian National Center for Laser Science and technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران peyman abbasi پیمان عباسی pabbasi2001@gmail.com 10031947532846001418 10031947532846001418 No Iranian National Center for Laser Science and technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران