fa بررسی تاثیر دمای بازپخت روی خواص ساختاری و اپتیکی لایه های نازک ZnO تهیه شده به روش سل - ژل تخصصی Special پژوهشي Research چکیده – در این تحقیق خواص ساختاری و اپتیکی لایه‌های نازک اکسید روی تهیه شده به روش سل-ژل مورد بررسی قرار گرفت. نمونه‌ها بعد از سه بار لایه نشانی در دماهای مختلف بازپخت شدند. با استفاده از خطوط پراش پرتوهای X و تحلیل پهن شدگی آنها، اندازه بلورکها و چگالی دررفتگی لایه‌های ZnO استخراج شدند. همچنین مورفولوژی نمونه‌ها نیز با استفاده از تصاویر SEM مورد بررسی قرار گرفت. گاف انرژی نمونه‌ها از طریق طیف گذار بدست آمد، و ارتباط بین لبه جذب نمونه‌ها در طیف جذبی با نتایج بدست آمده از تحلیل خطوط پراش و مورفولوژی آنها مورد بررسی قرار گرفت. Abstract In this study the structural and optical properties of ZnO thin films prepared by sol-gel method were investigated. Samples were annealed at different temperatures after 3 times coating. Crystallite size and the dislocation density of ZnO layers were evaluated by X-ray diffraction line broadening analysis. The morphology of samples was studied using SEM images Band gap transition spectra obtained through samples, and the relationship between the absorption edge in the absorption spectra of the samples with the results obtained from the analysis of the diffraction lines and their morphology was studied. کلید واژه- اکسید روی , ساختار و نواقص شبکه بلوری , لایه های نازک , دمای بازپخت Zinc oxide, Annealing temperature, Thin films, Structure and crystal lattice defects. 929 932 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-357&slc_lang=fa&sid=1 mehdi fallah مهدی فلاح fallah68@hotmail.com 10031947532846001562 10031947532846001562 Yes Univesity of science and technology دانشگاه علم و صنعت Seyed Rouhollah Aghdaee سید روح الله عقدایی aghdaee@iust.ac.ir 10031947532846001563 10031947532846001563 No Univesity of science and technology دانشگاه علم و صنعت