fa طراحی فرآیند پولیش میانی برای بهینه سازی سطح فلز مس تخصصی Special پژوهشي Research فرآیندهای پرداخت سطحی، در ساخت ادوات نیمه‌هادی و قطعات اپتوالکترونیکی دارای اهمیت ویژه‌ای هستند که از جمله آنها می‌توان به فرآیندهای سایش و پولیش کاری اشاره کرد. کیفیت انجام این فرآیندها بر روی فلز مس نقش به سزایی در تولید چاهک‌های گرمایی دارند. با توجه به اهمیت ساخت و تولید بهینه چاهک‌های گرمایی از جنس فلز مس، فرآیند دیگری مورد نیاز است تا بتوان عملیات پرداخت نهایی بر روی فلز مس را با کیفیت مطلوب‌تری انجام داد. در همین راستا فرآیند پولیش میانی معرفی شده است تا به کمک آن بتوان عمل بهینه سازی سطح و ویژگیهای سطحی را انجام داد. در کنار فرآیند سایش که هدف از آن کاهش ضخامت فلز مس است، و همچنین فرآیند پولیش کاری که با هدف صیقل دهی و آیینه‌ای کردن سطح انجام می‌گیرد، فرآیند پولیش میانی به منظور ایجاد سطحی با سختی کمتر و در نتیجه نرمی زیاد و همینطور تختی و همواری ایده‌آل در بین دو فرآیند مذکور قابل انجام است. Among the surface finishing processes lapping and polishing are very important for manufacturing and fabricating semiconductor and optoelectronic devices. For copper, the quality of these processes has a critical role in the performance of heatsinks. In this paper an intermediate process named “inter-polishing” was introduced. This process placed after lapping and before polishing. The result is obtaining a surface with more flatness and less hardness that are key parameters to achieve an ideal surface after polishing. پولیش میانی, مس. پولیش کاری, تختی, سختی سطحی Inter-Polishing, Cu, Polishing, Flatness, Hardness 893 896 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-339&slc_lang=fa&sid=1 Kourosh Sasani کوروش ساسانی krprivacy@gmail.com 10031947532846001620 10031947532846001620 Yes Iranian National Center for Laser Science and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران mirvahid shafiei jood میروحید شفیعی جود mirvahid.shafiee@gmail.com 10031947532846001621 10031947532846001621 No Iranian National Center for Laser Science and Technology مرکز ملی علوم و فنون لیزر ایران