fa شبیه سازی لایه نشانی نانوساختارهای فوتونیکی ستونی زاویه دار با روش لایه نشانی مایل تخصصی Special پژوهشي Research در این تحقیق، یک شبیه سازی سه بعدی لایه نشانی با روش کنار نشست برای طراحی و ساخت نانومیله ها ی نازک ارائه شده است. ابتدا با استفاده از نرم افزار مراحل رشد شبیه سازی شده و سپس با استفاده از دستگاه لایه نشانی بخار نشست (PVD) رشد داده می شوند. هم چنین مطالعه ریخت شناسی سطح لایه نازک نقره با روش لایه نشانی مایل مورد بررسی قرار گرفته است. تاثیر انحراف زاویه اتم های ورودی بر قطر نانومیله های نازک مورد مطالعه قرار گرفته و انحراف زاویه 4 درجه برای مطابقت با نتایج تجربی انتخاب شده است. نتیجه این پژوهش تولید نانومیله هایی با قطر کمتر از 40 نانومتر است. We describe an atomic simulator for thin film deposition in three dimension. The simulation is designed to model the glancing angle deposition with ballistic deposition. For study the growth of Ag thin film, at first we simulate with Nano Scale Model software (NASCAM)code then we fabricate nanorods by glancing angle deposition method. We have also studied the morphology of the Ag surface that fabricate with glancing angle deposition technique. The effect of adatom incident angle fluctuation in nanorods fabrication and the diameter of Ag nanorod are studied. The diameter of nanorod is calibrated by 4 degree incident atom angle fluctuation. As a result, Ag nanorods with diameter less than 40 nm has been produced. شبیه سازی, ریخت شناسی, لایه نشانی, نانومیله. Simulation, Morphology, Deposition, Nanorod. 837 840 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-321&slc_lang=fa&sid=1 Vaheed Fallah Hamidabadi وحید فلاح حمید آبادی Vaheed.Fallah@modares.ac.ir 10031947532846002327 10031947532846002327 Yes Tarbiat Modares University دانشگاه تربیت مدرس Nader Sobh Khiz نادر صبح خیز Sobhkhizy@yahoo.com 10031947532846002328 10031947532846002328 No Tarbiat Modares University دانشگاه تربیت مدرس Ahmad Moshaii احمد مشاعی moshaii@modares.ac.ir 10031947532846002329 10031947532846002329 No Tarbiat Modares University دانشگاه تربیت مدرس