fa ساخت لایه نازک FTO به روش لایه نشانی چرخشی با کاربرد بعنوان TCO و بررسی اثر دمای بازپخت بر خواص رسانایی و شفافیت آن تخصصی Special پژوهشي Research لایه نازک قلع اکسید آلاییده شده با فلورین (FTO) به عنوان اکسید رسانای شفاف (TCO) بر روی زیر لایه ی شیشه با روش لایه نشانی چرخشی، تهیه شده است. نمونه های تهیه شده در دماهای بازپخت 375، 400، 425 و 450 0C قرار گرفتند. رسانایی و شفافیت نمونه ها بررسی شده و بهترین نتایج در دمای باز پخت 400 0C با مقاومت سطحی 13kΩ/☐ و عبور 81% در ناحیه ی طول موجی 400-800 nm مشاهده شده است. اندازه ی دانه های کروی و ضخامت لایه برای بهترین حالت به ترتیب بین 20-50 nm و 400 nm است. - Thin film of fluorine doped tin oxide (FTO) as a transparent conducting oxide (TCO) has been coated on a glass substrate by sol-gel spin-coating technique. The prepared samples have been annealed in 375, 400, 425 and 450 0C temperatures. Conductivity and transparency of the samples have been studied and the best results are seen in annealing temperature of 400 0C by a sheet resistance of 13kΩ/☐and transmittance of 81% in the 400-800nm wave-length region. The grain size and thickness for the best results are respectively between 20-50nm and 400nm. FTO, لایه نشانی چرخشی, TCO FTO, spin-coat, TCO 665 668 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-270&slc_lang=fa&sid=1 mojtaba akbarzadeh مجتبی اکبرزاده mojtaba_akbarzadeh67@yahoo.com 10031947532846002207 10031947532846002207 Yes Iran University of Science and Technology دانشگاه علم و صنعت ایران mohammad reza zamani meimian محمد رضا زمانی میمیان r_zamani@iust.ac.ir 10031947532846002208 10031947532846002208 No Iran University of Science and Technology دانشگاه علم و صنعت ایران