Accepted and Presented Articles of OPSI Conferences
مقالات پذیرفته و ارائه شده در کنفرانسهای انجمن اپتیک و فوتونیک ایران
ICOP & ICPET _ INPC _ ICOFS
Basic Sciences
http://opsi.ir
1
admin
1126-3278
10
8
7
14
8888
13
fa
jalali
1392
10
1
gregorian
2014
1
1
20
مجموعه مقالات پذیرفته و ارائه شده در بیستمین کنفرانس اپتیک و فوتونیک ایران
online
1
fulltext
fa
اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز
Three Dimensional Surface Topography Measurement by Phase Modulated Mirau Interferometeric Microscope
تخصصی
Special
پژوهشي
Research
در این پژوهش روشی برای اندازه گیری سه بُعدی ناهمواری سطح با استفاده از میکروسکوپ تداخلی میرائو به روش تلفیق فاز ارائه شده است.
یکی از روشهای تحلیل طرحهای تداخلی، روش جابه جایی فاز است. در این تحقیق از یک LCD به عنوان تلفیق گر فاز برای ایجاد این جابه جایی فاز
استفاده شده است. مزیت این روش نسبت به روشهای متداول، عدم استفاده از جابه جاگرهای مکانیکی و سرعت بالای داده برداری است.
In this paper, a method for measuring 3D surface topography by using a phase modulated Mirau interferometric microscope is presented. Phase shifting is one of the methods to analyze interference patterns of the microscope. In this research an LCD is used as a phase modulator to apply the phase shifts. The advantages of this method compared to the conventional methods are the possibility of high-speed data acquisition and non-mechanical phase shifting.
تلفیق فاز, جابهجایی فاز, سطحسنجی سه بعدی, میکروسکوپ تداخلی میرائو.
Phase Modulation, Phase Shift, 3D Topography measurement, Mirau Interferometer Microscope.
597
600
http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-253&slc_lang=fa&sid=1
Sara
Mohajerani
سارا
مهاجرانی
s.mohajerani@iasbs.ac.ir
10031947532846002141
10031947532846002141
Yes
Institute for Advanced Studies in Basic Sciences
دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان
Mostafa
aakhte
مصطفی
آخته
aakhte@iasbs.ac.ir
10031947532846002142
10031947532846002142
No
Institute for Advanced Studies in Basic Sciences
دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان
Jafar
Mostafavi Amjad
جعفر
مصطفوی امجد
j.mostafaviamjad@gmail.com
10031947532846002143
10031947532846002143
No
Institute for Advanced Studies in Basic Sciences
دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان
Dariush
Abdolahpour
داریوش
عبداله پور
dabdollahpour@iasbs.ac.ir
10031947532846002144
10031947532846002144
No
Institute for Advanced Studies in Basic Sciences
دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان
Ehsan
Ahadi Akhlaghi
احسان
احدی اخلاقی
e.a.akhlaghi@iasbs.ac.ir
10031947532846002145
10031947532846002145
No
Institute for Advanced Studies in Basic Sciences
دانشگاه تحصیلات تکمیلی در علوم پایه زنجان