fa لایه نشانی کربن الماس-گون به روش انباشت بخار فیزیکی تخصصی Special پژوهشي Research <p align="right" style="direction: rtl"> </p><p class="Abstract" dir="rtl" style="margin: 9pt 0in"><font size="1"><span>دراین پژوهش کربن<em>­ </em>به روش بخارفیزیکی بر روی زیرلایه سولفیدروی و لایه واسط </span><em><span dir="ltr">Y₂O₃</span><span dir="rtl"></span></em>_{<span style="font-style: normal font-size: 10pt"><span dir="rtl"></span> </span>}<span lang="FA" style="font-style: normal font-size: 10pt">انباشت شد، تأثیر نرخ انباشت در عبور امواج فروسرخ نمونه­های تولید شده با طیف سنجی </span><em><span dir="ltr">FTIR</span><span dir="rtl"></span></em><span lang="FA" style="font-style: normal font-size: 10pt"><span dir="rtl"></span> و رامان<span> </span>مورد بررسی قرار گرفت. مشاهده شد که تغییر مقدار نرخ انباشت، لایه­های کربن الماس-گون با ساختارهای گوناگونی را پدید می­آورد. نمونه­های تولید شده با نرخ انباشت 30 آنگسترم برثانیه و دمای 100 درجه سانتی­گراد، عبور و مقدار هیبریداسیون </span><em><span dir="ltr">sp³</span><span dir="rtl"></span></em><span lang="FA" style="font-style: normal font-size: 10pt"><span dir="rtl"></span> بیشتری دارند <span> </span>که 32 درصد اندازه­گیری شد. این نمونه­ها همچنین از کیفیت مکانیکی بهتری براساس استاندارد </span><em><span dir="ltr">MIL-48616</span><span dir="rtl"></span></em><span><span dir="rtl"></span><span> </span>برخوردار بودند.</span></font></p><p></p><p></p> <p style="DIRECTION: ltr" align="left">In this research, carbon deposited on ZnS as substrate and Y₂O₃ as meddle layer by Physical vapor deposition method. The effect of deposition rate on transparency of produced samples in infrared range were investigated by FTIR and Raman spectroscopy. It was observed that produced DLC films have different structural characteristics using various deposition rates. Samples produced with 30A^o/s deposition rate and temperature of 100 ⁰C have more optical transmission and sp³ sites which was 32%. These samples showed better mechanical quality according to MIL-48616 standard. </p> کربن الماس-گون, لایه نشانی, محدوده 7-13 میکرومتر,‌ PVD diamond-like carbon, deposition, 7-13 µm range, PVD 581 584 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-249&slc_lang=fa&sid=1 Hamid Nezamdoost حمید نظام دوست h.nezamdoost@gmail.com 10031947532846002129 10031947532846002129 Yes Tehran central branch دانشگاه آزاد اسلامی تهران مرکز Salimeh Kimiagar سلیمه کیمیاگر s.kimia8579@gmail.com 10031947532846002130 10031947532846002130 No Tehran central branch دانشگاه آزاد اسلامی تهران مرکز Mohammad jannesari محمد جان نثاری ladani1383@yahoo.com 10031947532846002131 10031947532846002131 No Yazd university دانشگاه یزد