fa طراحی و ساخت سیستم خودکانونی به روش آستیگماتیسم جهت استفاده در لیتوگرافی لیزری تخصصی Special تجربی Experimental <strong>چالش&rlm;های متعددی در ساخت مدار&rlm;های مجتمع فوتونیکی وجود دارد. یکی از چالش&rlm;های ساخت این نوع از مدار&rlm;ها، خودکانونی بلادرنگ پرتو لیزر بر روی سطح فوتورزیست در لیتوگرافی لیزری است. در این راستا یک سیستم خودکانونی طراحی و ساخته شد. این سیستم بر اساس روش آستیگماتیسم عمل می&rlm;کند. این سیستم خودکانونی می تواند با دقت ۱۳۰ نانومتر ناهمواری&rlm;های سطح فوتورزیست را تشخیص داده و بدون استفاده از نرم&rlm;افزار و به صورت یک سیستم خوداتکا با سرعت بسیار بالا در هنگام لیتوگرافی لیزری عمل کند.</strong> There are many challenges to build an integrated photonic circuit. One of the challenges of building such circuits is the instant auto-focus of the laser beam on the surface of the photoresist. In this regard an auto-focus system was built and fabricated. This system is based on astigmatism method. This auto-focus system can distinguish surface roughness of the photoresist with resolution of 130 nanometers and operate without the use of any software and as a standalone system with very high speeds while the direct write laser lithography is being done. آستیگماتیسم, خوداتکا, خودکانونی, فوتورزیست, مدار مجتمع فوتونیکی Astigmatism, Auto-Focus, Integrated Photonic Circuit, Photoresist, Standalone 894 897 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1971-100&slc_lang=fa&sid=1 mohsen ghazanfar محسن غضنفر mohsen.ghazanfar73@gmail.com 100319475328460010400 100319475328460010400 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی تهران Ebrahim Behroodi ابراهیم بحرودی eb.behroodi@gmail.com 100319475328460010401 100319475328460010401 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی تهران Hamid Latifi حمید لطیفی latifi@sbu.ac.ir 100319475328460010402 100319475328460010402 Yes Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی تهران