fa یک روش دقیق برای تعیین ثابت های اپتیکی فیلم نازک اکسید هافنیوم در ناحیه مادون قرمزنزدیک تخصصی Special پژوهشي Research روش‌های متعددی برای تعیین پارامترهای اپتیکی لایه‌های نازک وجود دارد که از جمله می‌توان به روش‌های بهینه‌سازی اشاره کرد. ابتدا یک لایه‌نشانی عملی متشکل از لایه نازک اکسید هافنیوم(HfO2) روی بستره ژرمانیوم بروش تبخیر حرارتی در خلأ انجام شد. سپس طیف تراگسیل نمونه در ناحیه مادون قرمز اندازه‌گیری شد. پس از مطالعات دقیق و مفصل، یک برنامه کامپیوتری در MATLAB برای روش بهینه‌سازی الگوریتم ژنتیک(GA) نوشتیم و نتایج آن‌را توسط داده‌های دقیق حاصل از نرم-افزارEssential Macleod امتحان کردیم. با استفاده از این روش، ضرایب سلمایرلایه بهینه شدند و بدنبال آن توانستیم ضرایب شکست و خاموشی نمونه را با دقت خوبی در ناحیه مادون قرمز استخراج کنیم. با مقایسه این نتایج و مقادیرحاصل از کار محققان قبلی دریافتیم که الگوریتم ژنتیک یک روش نسبتاً دقیق برای تعیین پارامترهای لایه نازک می‌باشد. There are various methods for determination of optical parameters of thin films. One of these methods is optimization method. First we practically deposited a HfO2 thin film onto Ge Substrate by vacuum evaporation technique and transmittance spectra was measured in the infrared region. After the exact studies, a computer program written in MATLAB for Genetic Algorithm(GA) optimization method and its results test with exact values from Essential Macleod software . By using this method, the thin film sellmeier coefficient were optimized and subsequently we could extract optical constants(refractive index and extinction coefficient) of sample with good accuracy in the NIR region. Comparision data of this method with past researchs gave rise this result: the GA is an almost exact method for determination of thin films optical parameters. الگوریتم ژنتیک, ضریب خاموشی, ضریب شکست, لایه نازک genetic algorithm, extinction coefficient, refractive index, thin film 541 544 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-233&slc_lang=fa&sid=1 samaneh falahatpour سمانه فلاحت پور sfalahatpour@yahoo.com 10031947532846002113 10031947532846002113 Yes Abbas Behjat عباس بهجت abehjat@yazduni.ac.ir 10031947532846002114 10031947532846002114 No Mahdi Mardiha مهدی مردیها thinfilmgroup@yahoo.com 10031947532846002115 10031947532846002115 No