fa ساخت میکروآیینه انعطاف‌پذیر پلیمری با تحریک الکتروستاتیک تخصصی Special پژوهشي Research دراین مقاله روشی نوین جهت ساخت میکروآیینه انعطاف‌پذیر پلیمری مبتنی ‌بر عملگرالکترواستاتیک ارائه شده‌است. استفاده از عملگرالکترواستاتیک در ساخت میکروآیینه‌ها بدلیل دقت بالا و سادگی در ساخت،گزینه‌ی مطلوبی می‌باشد.اما نیاز به ولتاژ تحریک بالا استفاده ازاین نوع عملگر را محدود می‌کند. برای رفع این مشکل، یکی از راهکارها استفاده از مواد پلیمری با مدول الاستیک بسیار پایین بجای سیلیکون است. اما آیینه ساخته شده با استفاده از پلیمر، صافی سطح کمتری در مقایسه با سیلیکون دارد. دراین مقاله برای غلبه براین مشکل از راهکاری برای ساخت میکرواینه استفاده شده که علاوه بر تمام مزایای آینه پلیمری از نظر صافی سطح با نمونه های سیلیکونی برابری می کند. In this paper,a novel method for fabrication of a polymeric deformable micro-mirror with electrostatic actuator is presented.Electrostatic actuators are a desirable choice for micro-mirrors due to their accurate deformation control and simple fabrication process.Despite these promising the development of the electrostatic actuator is limited because of for high actuation voltage.To solve this problem,we utilize metalized thin SU-8 diaphragm as deformable mirror.but the Surface roughness of polymeric mirror is lower than silicon ones.in this paper we propose the fabrication method to overcome this problem.Furthermore the proposed method has using a fast‌ and low-cost fabrication method by the high quality of surface mirror. اپتیک تطبیقی , پلیمر SU-8, عملگر الکتروستاتیکی , میکرو آیینه. Adaptive optics, electrostatic actuator, micromirror,SU-8 1349 1352 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-204&slc_lang=fa&sid=1 mehrnaz esfandiari مهرناز اسفندیاری me_esfandiari2000@yahoo.com 10031947532846002423 10031947532846002423 Yes Reza Asadi رضا اسدی Rasadi56@gmail.com 10031947532846002424 10031947532846002424 No payam heydari پیام حیدری pheydari@riau.ac.ir 10031947532846002425 10031947532846002425 No Alireza shamsi علیرضا شمسی a.shamsi89@gmail.com 10031947532846002426 10031947532846002426 No