fa ساخت کریستال فوتونیکی معلق پلیمری تخصصی Special پژوهشي Research چکیده – در این تحقیق نوع جدیدی از کریستال‌های فوتونیکی معلق مبتنی بر ماده پلیمری SU-8 با قابلیت استفاده در حسگرهای شتاب ساخته شده است. برای این منظور از روش لیتوگرافی تداخلی دو باریکه لیزر He-Cd برای ساخت کریستال فوتونیکی یک بعدی در لایه نازکی از SU-8 با تناوب nm670 استفاده شده است. سپس با فرآیندهای لایه نشانی و سونش شیمیایی، زیر لایه فلزی چند لایه کریستال برداشته و با آزاد سازی این ساختار، کریستال ساخته شده معلق شده است. In this experimental work, a novel SU8-based Photonic Crystal which can be used in acceleration sensors is introduced. By utilizing two-beam laser lithography (He-Cd laser) method, a one-dimensional Photonic Crystal on a thin layer of SU8 photoresist with lattice constant of 670 nm was fabricated. Then, by layer deposition and etching processes the multilayer metallic substrate was removed, and finally, by releasing the structure the crystalized layer was suspended. کریستال فوتونیکی معلق, فوتورزیست SU-8, لیتوگرافی تداخلی دو باریکه لیزری Suspended Photonic Crystal, SU-8 photoresist, Two-beam interference laser lithography 1357 1360 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-202&slc_lang=fa&sid=1 Afshin Shahalizad افشین شاهعلی زاد afshin.photonic@gmail.com 10031947532846002427 10031947532846002427 No Reza Asadi رضا اسدی Rasadi56@gmail.com 10031947532846002428 10031947532846002428 Yes Maryam Ganji مریم گنجی maryamganji62@gmail.com 10031947532846002429 10031947532846002429 No Payam Heydari پیام حیدری pheydari@riau.ac.ir 10031947532846002430 10031947532846002430 No