fa لایه‌نشانی چرخشی مواد چلکوژناید برای لیتوگرافی تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در این پژوهش ابتدا به بررسی امکان ساخت محلول از انواع پودرهای چلکوژناید پرداخته و به این نتیجه رسیدیم که تنها از چلکوژنایدهای آمورف می&shy;توان محلول مناسب برای لایه&shy;نشانی چرخشی را تهیه کرد. بعد از آن طی تکرار آزمایش&shy;ها متوجه شدیم که وقتی به منظور خارج کردن حلال از فیلم&shy;های لایه&shy;نشانی شده آن&shy;ها را گرمادهی می&shy;کنیم، این کار حتما باید تحت خلأ انجام شود. سپس با نوشتن مستقیم لیزری توسط لیزر سبز پیوسته با سرعت </span></span></strong><span dir="LTR">100um/s</span><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> در توان </span></span></strong><span dir="LTR">3mw</span><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> روی فیلم&shy;ها و اچ کردن شیمیائی آن&shy;ها به موجبرهای اپتیکی با ابعاد </span></span></strong><span dir="LTR">2um</span><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> دست پیدا کردیم.</span></span></strong><span dir="LTR"></span> In this study, we first investigated the feasibility of a solution made of different types of chalcogenide powders and concluded that only amorphous chalcogenides could provide a suitable solution for spin-coated deposition. After repeating the experiments, we found that when we heat them in order to remove the solvent from the deposited films, this must be done under vacuum. Then, by direct laser writing with a continuous green laser at 100um /s at 3mw power on the films and chemically etching them, we achieved 2um optical waveguides.<span dir="RTL"></span> روش مواد محلول, فوتورزیست چلکوژناید, لایه‌نشانی چرخشی, موجبر اپتیکی Soluble material method, spin-coated deposition, Optical Waveguide, Chalcogenide photoresists 729 732 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2147&slc_lang=fa&sid=1 Gholam mohammad Parsanasab غلام محمد پارسانسب 10031947532846008847 10031947532846008847 Yes Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی Majid Taghavi مجید تقوی 10031947532846008848 10031947532846008848 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی Samaneh Mostajeran سمانه مستاجران 10031947532846008849 10031947532846008849 No Shahid Beheshti University دانشگاه شهید بهشتی