fa ساخت آشکارساز نوری بر اساس امواج آکوستیک سطحی تخصصی Special پژوهشي Research <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">در این مقاله یک آشکارساز نوری بر اساس موج آکوستیک سطحی مورد بررسی قرار گرفته است. کارکرد این آشکارساز بر اساس پدیده آکستوالکتریک می&shy;باشد؛ به این صورت که در اثر تابش نور آبی</span></span></strong> <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">(طول موج 450 نانومتر) با توان&shy;های مختلف، فرکانس مرکزی و همچنین میزان تلفات دامنه سیگنال خروجی دچار تغییر می&shy;شود. تعیین فرکانس مرکزی از طریق طراحی الکترودهای شانه&shy;ای انجام شده &shy;است. موج آکوستیک سطحی با اعمال ورودی متناوب به الکترودهای ورودی روی سطح پیزوالکتریک ایجاد می&shy;گردد. در این مقاله از </span></span></strong><span dir="LTR">ZnO</span><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> به عنوان ماده پیزوالکتریک و همچنین لایه حساس به نور استفاده شده است. در افزاره ساخته شده فرکانس مرکزی 6/89 مگاهرتز و </span></span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">حساسیت آن برابر</span></span></strong><span style="position:relative;top:2.5pt;"><span style="font-family:Calibri,sans-serif;"><span style="font-size:11.0pt;"> <img alt="" chromakey="white" src="file:///C:/Users/MOH3N/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.png" > </span></span></span>&nbsp;<strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">&nbsp;375/0</span></span></strong> <strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">و دارای خطای</span></span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> تقریبی</span></span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;"> 4% &nbsp;</span></span></strong><strong><span style="font-family:B Nazanin;"><span style="font-size:11.0pt;">می&shy;باشد.</span></span></strong> In this paper a surface acoustic wave photodetector is investigated. This photodetector works based on acousto<span dir="RTL">-</span>electric effect, which its resonance frequency and output signal amplitude change by exposure of blue light (450nm wavelength) with different powers. The resonance frequency is determined by Inter Digital Transducer (IDT) design. By applying AC signal to the input IDT, SAW can be created on the surface of piezo<span dir="RTL">-</span>electric layer. In this paper, ZnO is used as piezo<span dir="RTL">-</span>electric material and sensing layer. Resonance frequency of the fabricated device is about 89.6 MHz and its sensitivity is 0. 375 <img alt="" chromakey="white" src="file:///C:/Users/MOH3N/AppData/Local/Temp/msohtmlclip1/01/clip_image001.png" > &nbsp;with the approximate error of 4%.<span dir="RTL"></span> پدیده آکوستوالکتریک, پیزوالکتریک, فرکانس مرکزی, موج آکوستیک سطحی Acousto-electric effect, Piezo-electric, Resonance frequency, SAW, Surface Acoustic Wave 489 492 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-2078&slc_lang=fa&sid=1 Amin Yaghoobi امین یعقوبی 10031947532846008598 10031947532846008598 Yes Faculty of Electrical and Computer Engineering, Tarbiat Modares University دانشگاه تربیت مدرس Sara Darbari سارا درباری 10031947532846008599 10031947532846008599 No Faculty of Electrical and Computer Engineering, Tarbiat Modares University دانشگاه تربیت مدرس Abdolreza Nabavi عبدالرضا نبوی 10031947532846008600 10031947532846008600 No Faculty of Electrical and Computer Engineering, Tarbiat Modares University دانشگاه تربیت مدرس