fa تأثیر عملیات بازپخت بر ساختار بلوری و خواص اپتیکی لایه‌های نازک CdZnO رشد داده شده به روش سل- ژل تخصصی Special پژوهشي Research ابتدا لایه‌های نازک اکسیدکادمیوم‌روی CdZnO به ضخامت متوسط 155 نانومتر بر روی زیر لایه‌های شیشه‌ای با روش سل ژل رشد داده شدند. سپس لایه‌های آماده شده در دماهای500،450 درجه سانتیگراد بازپخت شدند. خواص اپتیکی و ساختاری این نمونه‌ها با استفاده از نتایج حاصل از اندازه‌گیری‌های طیف عبور و بازتاب و پراش پرتوX و همچنین تصاویر میکروسکوپ الکترونی روبشی بررسی شدند. نتایج این مطالعه نشان داد که عملیات بازپخت باعث بهبودی ساختار بلوری لایه‌ها می‌شود. همچنین شفافیت لایه‌ها و گاف نواری آنها با افزایش دمای بازپخت کاهش می‌یابد. Abstract- In this paper firstly CdZnO thin films with average thickness of about 155 nm, were grown by sol-gel spin-coating method on the glass substrates. the Prepared films were annealed at 450, 5000c. Crystal Structure and optical properties of the samples have been investigated by UV-VIS spectrophotometer, X-ray diffraction (XRD) and scanning electeron microscopy (SEM). The results showed that the annealing process causes improvement in crystal structure the layers. In addition, transparency the layers and their band gap decrease when in annealing temperature increases. اکسیدکادمیوم‌روی, سل‌-ژل, لایه‌نازک, نیمرساناهای شفاف CdZnO, sol-gel, transparent conductive oxides, thin films 401 404 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-174&slc_lang=fa&sid=1 samira vali mohammadi سمیرا ولی محمدی s_v_m20011@yahoo.com 10031947532846002008 10031947532846002008 Yes university of shahrood دانشگاه شاهرود morteza izadi fard مرتضی ایزدی فرد mizadifard@yahoo.com 10031947532846002009 10031947532846002009 No university of shahrood دانشگاه شاهرود mohammad ebrahim Ghazi محمد ابراهیم قاضی mghazi@shahroodut.ac.ir 10031947532846002010 10031947532846002010 No university of shahrood دانشگاه شاهرود Bahram Bahramian بهرام بهرامیان bbahramian@shahroodut.ac.ir 10031947532846002011 10031947532846002011 No university of shahrood دانشگاه شاهرود