fa بررسی ساختارهای میکروتخلخلی و میکروموجی ایجاد شده بر روی سطح پلیمر PMMA در برهمکنش با لیزر پالسی CO2 تخصصی Special پژوهشي Research <span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">تراشه های میکروشاره کاربردهای بسیار مهمی در حوزه‌های مختلف تحقیقاتی مانند سنتز شیمیایی، بیوتکنولوژی و تکنولوژی شاره های اپتیکی دارند. در میان مواد پلیمری متنوعی که برای ساخت ابزارهای میکروشاره مورد استفاده قرار میگیرند، پلیمر پلی‌متیل‌متاآکریلات </span></span><span dir="LTR">&nbsp;(PMMA)</span><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> بدلیل قیمت پایین، شفافیت و زیست سازگاری که به ویژه در کاربردهای بیولوژیکی مهم است، بیشتر مورد استفاده</span></span><span dir="LTR">‌</span><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> می‌باشد. میکروماشین کاری لیزری یکی از روش های مهم در ساخت میکروکانال‌ در تراشه میکروشاره است. بدنبال میکروماشین کاری لیزری، آرایه ای از میکرو و نانوساختارها&nbsp; در کفِ میکروکانال‌ها ایجاد می‌گردد که شکل و اندازه آن‌ها به پارامترهای تابش بستگی دارد.&nbsp; این ساختارها می‌تواند بر بازده میکروکانال‌ها تاثیر گذارد. در این مقاله، ساختارهای میکروتخلخلی و میکروموجی ایجاد شده بر روی سطح پلیمر </span></span><span dir="LTR">PMMA</span><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> پس از تابش با لیزر پالسی </span></span><span dir="LTR">CO₂</span><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;"> مورد مطالعه قرار گرفته است. به منظور بررسی مورفولوژی سطح، قبل و بعد از تابش، از میکروسکوپ الکترونی پویشگر (</span></span><span dir="LTR">SEM</span><span style="font-family:b nazanin;"><span style="font-size:12.0pt;">) استفاده گردیده است. </span></span> Microfluidics chips have gained important applications in many areas of the research, such as chemical synthesis, bio and optofluidic technologies. Among the various polymeric materials used for fabrication of the microfluidic devices, Polymethylmethacrylate (PMMA) is mostly used because of its low cost, transparency and biocompatibility which is important, especially for the biological applications. laser micromachining is one of the most important manufacturing methods used for fabrication of the microchannels. Following laser micromachining different micro and nano structures arrays may appear on the bottom of the microchannel depended on the irradiation parameters. Formation of these structures affects the total throughput of the microchannels. In this article, the formation of microporose&nbsp; and microwave structures on the surface of PMMA polymer following pulsed CO₂ laser irradiation&nbsp; is studied.&nbsp; Scanning electron microscopy (SEM) was used for the investigation of the surface morphology before and after irradiation. پلیمر PMMA, لیزر پالسی CO2, ساختار میکروتخلخلی, ساختار میکروموجی, میکروکانال PMMA polymer, pulsed CO2 laser, Microporose structure, Microwave structure, Microchannel 373 376 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-1485&slc_lang=fa&sid=1 Mitra Vesal میترا وصال 10031947532846006690 10031947532846006690 Yes Physics Department, Iran university of science and technology دانشگاه علم و صنعت ایران Sahar Sohrabi سحر سهرابی 10031947532846006691 10031947532846006691 No Physics Department, Iran university of science and technology دانشگاه علم و صنعت ایران Mohsen Montazeralghaem محسن منتظرالقائم 10031947532846006692 10031947532846006692 No Photonics and Quantum Technologies research school, Nuclear Science & Technology Research Institute پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی Hedieh Pazokian هدیه پازکیان 10031947532846006693 10031947532846006693 No Photonics and Quantum Technologies research school, Nuclear Science & Technology Research Institute پژوهشگاه علوم و فنون هسته ای، پژوهشکده فوتونیک و فناوری های کوانتومی Mahmoud Mollabashi محمود ملاباشی 10031947532846006694 10031947532846006694 No Physics Department, Iran university of science and technology دانشگاه علم و صنعت ایران