fa لایه نشانی و مشخصه یابی فیلم نازک باریم استرانتیم تیتانایت به روش لایه نشانی لیزر پالسی تخصصی Special پژوهشي Research فیلمهای نازک فرو الکتریک کاربرد وسیعی در قطعات میکروالکترونیکی دارند. در این قطعات وجود تابعیت غیر خطی ثابت دی -الکتریکی به میدان الکتریکی ضروری است. از جمله مواد فرو الکتریک مناسب، باریم استرانتیم تیتانایت است. در این جا باریم استرانتیم تیتانایت با ترکیب شیمیایی Ba5.0Sr5.0TiO3 به روش لایهنشانی لیزر پالسی بر روی زیرلایهی Pt/Ti/SiO2/Si لایه نشانی شده است. نتایج لایه نشانی از جمله خصوصیات ساختاری و مورفولوژی سطح فیلم، به ترتیب با پراش اشعهی ایکس ) XRD ( و میکروسکوپ نیروی اتمی ) AFM ( بررسی شده است. The Ferroelectric thin films are widely used in microelectronic devices. It is important for these devices to have nonlinear dependence on electrical field. A good candidate is Barium Strontium Titanate (BST). BST thin film (Ba5.0 Sr5.0TiO3 ) has been deposited on Pt/Ti/SiO2 /Si substrates by pulsed laser deposition method with different area of one. The structure characterization and surface morphology of the BST thin films was performed by X-ray diffraction (XRD) and atomic force microscopy (AFM). باریم استرانتیم تیتانایت, لایه نشانی لیزر پالسی, پراش اشعه ایکس, میکروسکوپ نیروی اتمی Barium Strontium Titanate, Pulsed laser deposition, X-ray diffraction, Atomic force microscopy. 177 180 http://opsi.ir/browse.php?a_code=A-10-1-94&slc_lang=fa&sid=1 هاجر کاظمی hajark254@gmail.com 10031947532846001831 10031947532846001831 No دانشگاه شهید بهشتی زهرا سادات عزیزی z_Azizi@sbu.ac.ir 10031947532846001832 10031947532846001832 Yes پژوهشکده لیزر سیده مهری حمیدی M_Hamidi@sbu.ac.ir 10031947532846001833 10031947532846001833 No پژوهشکده لیزر محمد مهدی طهرانچی teranchi@cc.sbu.ac.ir 10031947532846001834 10031947532846001834 No پژوهشکده لیزر مرتضی مظفری 10031947532846001835 10031947532846001835 No دانشگاه اصفهان