AU - Shahbazi, Amir Hossein AU - Azadeh, Mohammad AU - Madani Pour, Khosro AU - Koohian, Ata TI - Constructing Photomask for Mach – Zehnder Waveguide using Laser Scanning PT - JOURNAL ARTICLE TA - opsi JN - opsi VO - 22 VI - 0 IP - 0 4099 - http://opsi.ir/article-1-952-fa.html 4100 - http://opsi.ir/article-1-952-fa.pdf SO - opsi 0 AB  - در این مقاله به نحوه ساخت ماسک لیتوگرافی یک به یک جهت تولید انواع موجبرها و بطور خاص موجبر ماخ-زندر در بستر الکترواپتیک پرداخته‌ایم. برای این کار ابتدا روی زیرلایه‌ای از جنس شیشه، لایه نازکی از مس لایه‌نشانی کرده و سپس با استفاده از جاروب لیزری طرح‌واره موجبر ماخ – زندر روی آن ایجاد می‌گردد. لیزر مورد استفاده از نوع دیودی با طول موج 405nm و توان 65mW می‌باشد. پهنای کندگی به ازای ضخامت لایه‌نشانی شده 100nm، 8.5µm می‌باشد. زاویه میان شاخه‌های ایجاد شده در اتصال Y ماسک ماخ – زندر 2.8° در نظر گرفته شده است. CP - IRAN IN - LG - eng PB - opsi PG - 750 PT - Research YR - 2016