AU - Shahbazi, Amir Hossein AU - Madani Pour, Khosrow AU - Koohian, Ataollah TI - Quality Determination of Laser Scanning in Optical Mask Construction by Modulation Transfer Function PT - JOURNAL ARTICLE TA - opsi JN - opsi VO - 21 VI - 0 IP - 0 4099 - http://opsi.ir/article-1-865-fa.html 4100 - http://opsi.ir/article-1-865-fa.pdf SO - opsi 0 AB  - یکی از روش‌های لیتوگرافی، جاروب لیزری است. این روش همچنین در ساخت ماسک اپتیکی کاربرد دارد. در مقاله پیش‌رو روشی برای تعیین کیفیت ماسک اپتیکی به کمک تابع انتقال مدولاسیون ارائه می‌گردد. برای ساخت ماسک از لایه نازک اکسید مس که جذب بالایی در طیف مرئی و فرابنفش دارد، به همراه جاروب لیزر پرتوان 532nm استفاده شد. همچنین تصویر ماسک به کمک میکروسکوپ ذخیره و بعد از تصحیح آن و تبدیل فوریه ، تابع انتقال مدولاسیون تشکیل و معیاری از کیفیت بدست می‌آید. CP - IRAN IN - LG - eng PB - opsi PG - 989 PT - Research YR - 2015