TY - JOUR T1 - Measuring refractive index and thickness of transparent thin films using Fresnel diffraction from phase step TT - اندازه‌گیری ضریب‌شکست و ارتفاع لایه‌های نازک شفاف با استفاده از پراش فرنل از پله فازی JF - opsi JO - opsi VL - 21 IS - 0 UR - http://opsi.ir/article-1-647-fa.html Y1 - 2015 SP - 1473 EP - 1476 KW - Fresnel Diffraction KW - Phase step KW - Thickness KW - Thin films KW - Refractive index. N2 - تعیین دقیق ثابت‌های نوری لایه‌های نازک، از چالش‌های موجود در علوم و صنایع مدرن به حساب می‌آید. در این مقاله روشی جدید برای به‌دست آوردن ضریب‌شکست و ضخامت لایه‌های نازک دی‌الکتریک، ارائه داده‌ایم. این روش بر پراش فرنل از پله فازی عبوری استوار است. با ثبت نقش پراش پله فازی در زوایای مختلف فرودی و تحلیل آن‌ها، نمودار نمایانی بر حسب زاویه فرود به‌دست می‌آید. ضریب‌شکست و ارتفاع، از طریق برازش داده‌های شبیه‌سازی شده به منحنی تجربی (نمایانی بر حسب زاویه فرودی) تعیین می‌شوند. با استفاده از این روش، دقت اندازه‌گیری ضریب شکست و ضخامت لایه‌های نازک میکرومتری به ترتیب 0.5 و 0.1 درصد است. M3 ER -